本文關鍵詞：微位移放大模塊的剛度分析

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【摘要】：剛度的優(yōu)劣很大程度上影響著全柔性微動機構末端執(zhí)行器的定位精度及動態(tài)特性,因而建立全柔性微動機構較為簡便的、精確的剛度模型變得尤為重要。以全柔性微位移放大模塊為例,采用偽剛體法并依據構件之間的彈性變形關系得到模塊機構的運動方程,利用全柔性微位移放大模塊在運動過程中能量的轉化關系,結合功能原理建立機構的剛度模型,并通過算例對其進行ANSYS有限元仿真分析。結果表明理論計算值與仿真結果誤差在5%之內,具有較高精度。
【作者單位】： 山東理工大學機械工程學院;
【關鍵詞】： 柔性機構 剛度 功能原理 偽剛體模型
【基金】：山東省優(yōu)秀中青年科學家科研獎勵基金(BS2011ZZ013、BS2012ZZ009)
【分類號】：TH703.8
【正文快照】： 1引言隨著近年來微電子、生物醫(yī)學等微/納米技術相關學科的蓬勃發(fā)展,以及設備微型化、微芯片高度集成化、操作精密化等趨勢的日益明顯,微/納米技術已經成為對國民經濟具有重大影響的關鍵技術之一[1-3]。全柔性微動機構利用自身材料的彈性變形以實現力和位移的傳遞。由于其無裝

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