本文關鍵詞：大口徑反射鏡組件面形檢測系統(tǒng)及方法研究

  更多相關文章： 測量 大口徑反射鏡 面形測量 S-H波前傳感器 子孔徑拼接 混聯(lián)拼接

【摘要】：大口徑反射鏡組件檢測存在的設備昂貴、環(huán)境要求苛刻等問題�；赟-H波前傳感器的子孔徑拼接檢測技術,對其拼接算法進行改進,提出混聯(lián)拼接算法,有效減小拼接導致的面形檢測誤差。該方法結合自準直波前檢測系統(tǒng)和高精密二維掃描系統(tǒng)形成大口徑反射鏡反射面形拼接檢測系統(tǒng)。對比實驗表明,該系統(tǒng)測量誤差為0.072λ,滿足高功率固體激光器對大口徑反射鏡組件裝校過程面形控制的要求。
【作者單位】： 中國工程物理研究院激光聚變研究中心;
【關鍵詞】： 測量 大口徑反射鏡 面形測量 S-H波前傳感器 子孔徑拼接 混聯(lián)拼接
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言大口徑反射鏡組件是高功率固體激光器光傳輸過程中波前控制的關鍵組件之一。國內外關于高功率固體激光器的研究表明,傳輸光束波前畸變會嚴重影響焦斑能量分布,甚至影響激光裝置可靠運行,為此國內外大型高功率固體激光器都設法控制大口徑反射鏡組件反射面形。大口徑反射鏡

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本文編號：788601