本文關(guān)鍵詞：微縮投影系統(tǒng)的計算機(jī)輔助裝調(diào)

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【摘要】：為了解決主次鏡結(jié)構(gòu)的微縮投影系統(tǒng)在計算機(jī)輔助裝調(diào)過程中的補(bǔ)償器耦合問題,實現(xiàn)補(bǔ)償器的合理篩選,介紹了一種基于光學(xué)系統(tǒng)敏感矩陣奇異值分解的計算機(jī)輔助裝調(diào)算法。建立了微縮投影系統(tǒng)裝調(diào)模型,針對算法和模型開展了計算機(jī)輔助裝調(diào)實驗。用光學(xué)軟件CODE V建立了光學(xué)系統(tǒng)模型,采用零位補(bǔ)償器檢測獲得了非球面元件面形;基于靈敏度矩陣的分析結(jié)果指導(dǎo)微縮投影系統(tǒng)優(yōu)化,并將優(yōu)化后的結(jié)構(gòu)參數(shù)作為系統(tǒng)光機(jī)結(jié)構(gòu)機(jī)械裝配和定位的基準(zhǔn)。新建立的系統(tǒng)裝調(diào)模型更接近實際裝調(diào)過程,能更有效地指導(dǎo)裝調(diào),解決了補(bǔ)償器間的耦合問題,加快了裝調(diào)過程的收斂。最后,基于自行研發(fā)的高精度干涉儀完成了計算機(jī)輔助裝調(diào)實驗。實驗顯示系統(tǒng)波像差由46.39nmRMS收斂至20.73nmRMS,驗證了裝調(diào)算法和模型的準(zhǔn)確性。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 微縮投影系統(tǒng) 集成裝調(diào) 計算機(jī)輔助裝調(diào) 敏感度矩陣 奇異值分解
【基金】：國家重大科技專項資助項目
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言光學(xué)系統(tǒng)出瞳面波像差是衡量光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量的關(guān)鍵指標(biāo),而光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計殘差、光學(xué)元件檢測和加工誤差以及光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)誤差是影響系統(tǒng)波像差的3個關(guān)鍵因素。隨著光學(xué)設(shè)計軟件功能的完善,光學(xué)加工和檢測技術(shù)的不斷發(fā)展,使得研制分辨率達(dá)到衍射極限的光學(xué)系統(tǒng)成為可能,例

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1 陳U嗇，

本文編號：786890