本文關(guān)鍵詞：平面干涉儀檢測(cè)立方體直角誤差的方法

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【摘要】：介紹一種使用平面干涉儀對(duì)立方體直角誤差的測(cè)量方法。利用激光干涉測(cè)量方法具有精度高和靈敏度高的特點(diǎn),制做一個(gè)放置立方體的夾具,使其測(cè)試光路在立方體內(nèi)經(jīng)反射后又由入射面出射,當(dāng)與測(cè)試平行光重合時(shí)形成干涉,實(shí)現(xiàn)用平面干涉儀對(duì)立方體直角誤差的檢測(cè)。同時(shí),也可對(duì)立方體表面平面度、玻璃材質(zhì)缺陷等指標(biāo)進(jìn)行判別。具有與棱鏡透鏡干涉儀檢測(cè)立方體直角誤差的同等效果。
【作者單位】： 南京理工大學(xué)軍工試驗(yàn)中心;
【關(guān)鍵詞】： 平面干涉儀 測(cè)量 立方體 直角誤差
【分類號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 0引言在錐體棱鏡的制造方法中,有一種對(duì)立方體進(jìn)行加工(對(duì)立方體直角面的磨拋、切割、滾圓、入射面的磨拋)形成錐體棱鏡的制造方法。這種制造方法對(duì)于出射光軸與入射光軸的偏離角誤差(也稱綜合角誤差)要求為α≤5″的錐體棱鏡來說,立方體一組角的三個(gè)直角誤差則應(yīng)分別控制在Δ

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本文編號(hào)：772573