光學面形的輪帶光學拋光方法研究
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【摘要】:鑒于光學零件高陡度凹曲面的拋光是光學加工的一個難題,輪帶光學確定性拋光方法是解決此類零件拋光的有效方法之一;提出輪帶光學拋光技術(shù)的原理和方法。研究了輪帶光學拋光方法修形的可行性,采用五軸精密數(shù)控機床系統(tǒng)對一塊直徑Ф80mm的K9玻璃平面樣鏡進行了修形試驗,經(jīng)過3次迭代修形使其面形精度均方根誤差(RMS)由初始的0.109λ提高到0.028λ,平均每次收斂率達到1.3。實驗結(jié)果表明,應用輪帶光學拋光技術(shù)進行光學鏡面修形,面形收斂速度較快,加工精度較高。本實驗驗證了輪帶光學拋光技術(shù)的修形能力,為高陡度光學零件的拋光提供了研究基礎(chǔ)。
【作者單位】: 國防科技大學機電工程與自動化學院;
【關(guān)鍵詞】: 輪帶光學拋光技術(shù) 光學拋光 面形精度
【基金】:“高檔數(shù)控機床與基礎(chǔ)制造裝備”科技重大專項資助項目(2010ZX04001-151) 國家自然科學基金(51075393)
【分類號】:TH74
【正文快照】: 引言隨著光學零件的表面質(zhì)量要求不斷提高,以及零件的幾何形狀日趨復雜,超光滑表面的生成成為一個難點。非球面光學零件能夠矯正像差、改善像質(zhì)、擴大視場、增大作用距離,并能夠使光學系統(tǒng)簡化、質(zhì)量減輕[1]。非球面零件的性能優(yōu)勢大大超過了傳統(tǒng)的光學零件,但是非球面光學零
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