本文關(guān)鍵詞：光柵刻劃機刻劃系統(tǒng)光機電集成優(yōu)化方法研究

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【摘要】：針對大面積衍射光柵刻劃機在宏觀尺度下進(jìn)行微納加工的工作特點以及納米級刻線檢測困難的問題,提出了一種光機電集成優(yōu)化方法.此方法采用計算傅里葉光學(xué)和弦振動理論進(jìn)行光柵刻線誤差分析,結(jié)合振動實驗及光學(xué)測量進(jìn)行驗證,最后采用智能優(yōu)化方法對刻劃系統(tǒng)進(jìn)行結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化.虛擬樣機仿真結(jié)果表明,刻劃系統(tǒng)的振動幅度降低了30%,驗證了該集成優(yōu)化方法的有效性.
【作者單位】： 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)精密機械與精密儀器系;合肥師范學(xué)院電子信息工程學(xué)院;中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所;
【關(guān)鍵詞】： 光柵刻劃機 光機電集成優(yōu)化 計算傅里葉光學(xué) 智能優(yōu)化
【基金】：“十一五”國家科技支撐計劃重大項目(2006BAK03A02) 國家重大科研裝備研制項目(ZBYZ2008-1) 中央高校基本科研業(yè)務(wù)費專項資金資助項目(WK2090090010) 安徽省自然科學(xué)基金資助項目(1308085QE92) 合肥師范學(xué)院人才基金資助項目(2013RCJJ04)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 光柵制造技術(shù)作為當(dāng)今最為精密的技術(shù)之一,使得光柵刻劃機被稱為“精密機械之王”[1].光柵刻劃機制造的光柵質(zhì)量保證主要依靠兩個方面:一是固定待刻光柵毛坯的分度系統(tǒng)的定位精度;二是刻劃系統(tǒng)的刻劃直線度.兩方面的精度都需要同時保證,缺一不可.國內(nèi)外的光柵刻劃機研究,集中

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前7條

1 李智勇;陳友文;;一種融入小生境技術(shù)的遺傳禁忌算法[J];湖南大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2010年04期

2 魏s，

本文編號：757332