本文關(guān)鍵詞：微加速度計(jì)多失效模式可靠性分析

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【摘要】：以梳齒式電容微加速度計(jì)為研究對(duì)象,開展考慮剛度失效、黏附失效等多個(gè)失效模式共同作用下的可靠性分析。首先,建立表征各失效模式的數(shù)學(xué)模型;并利用結(jié)構(gòu)可靠度方法進(jìn)行各失效模式的可靠性分析。然后,進(jìn)行各失效模式的相關(guān)性分析,獲得相關(guān)系數(shù)矩陣。最后,以各失效模式可靠性結(jié)果和相關(guān)系數(shù)矩陣為輸入,建立微加速度計(jì)多失效模式可靠性分析模型;并進(jìn)行相應(yīng)的可靠性分析。一方面給出了微加速度計(jì)的可靠度,用于判別微加速計(jì)是否滿足可靠度要求;另一方面給出了微加速度計(jì)各失效模式和各隨機(jī)變量的量化的重要度排序,用于確定具有針對(duì)性的可靠性提高措施。
【作者單位】： 東北大學(xué)機(jī)械工程與自動(dòng)化學(xué)院;中國兵器科學(xué)研究院;
【關(guān)鍵詞】： 多失效模式 相關(guān)性 可靠度 可靠性分析 靈敏度分析
【基金】：國防技術(shù)基礎(chǔ)項(xiàng)目(Z092014B001)資助
【分類號(hào)】：TH824.4;TB114.3
【正文快照】： 目前,微加速度計(jì)等MEMS產(chǎn)品在工作過程中常存在一些典型的失效問題,如剛度失效、黏附失效等[1],致使產(chǎn)品無法完成預(yù)定的功能。針對(duì)這些問題,在MEMS產(chǎn)品的設(shè)計(jì)過程中,一方面需要充分考慮這些失效模式發(fā)生的可能性,即發(fā)生概率或可靠度;另一方面需要明確MEMS產(chǎn)品可靠度的主要影響，

本文編號(hào)：755090