發(fā)布時間：2017-08-28 17:05

  本文關鍵詞：聲光可調濾光器400～1000nm寬帶增透膜的制備

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【摘要】：針對聲光可調濾光器的使用要求,對常用的幾種薄膜材料進行了沉積實驗,采用傳統(tǒng)的撕離法及納米劃痕法測試了薄膜材料的附著力。選擇TiO_2和SiO_2分別作為高、低折射率鍍膜材料,通過不同方案對膜系進行了優(yōu)化設計。采用電子束蒸發(fā)兼離子束輔助沉積技術,制備了附著力牢靠、光譜透射率滿足使用要求的TeO2晶體400~1 000nm寬帶增透膜。
【作者單位】： 中國電子科技集團公司第二十六研究所;中國電子科技集團公司第四十四研究所;
【關鍵詞】： 聲光可調濾光器 寬帶增透膜 附著力 納米劃痕法
【分類號】：TH74;O484
【正文快照】： 0引言聲光可調濾光器(AOTF)是基于聲光互作用效應設計的一種電調諧濾光器件,在光譜應用中也稱為分光器件。AOTF通過調諧電信號的頻率而從寬光譜(復色光)中濾出所需光譜成分。與一般色散元件相比,AOTF具有光譜切換速度快,光學系統(tǒng)無移動部件等特點。聲光可調濾光器通常采用TeO2

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1 段致平;;4500，

本文編號：748592