本文關(guān)鍵詞：二維橫向剪切干涉中采樣點(diǎn)的選取

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【摘要】：為了使相移式橫向剪切干涉法能夠廣泛應(yīng)用于大口徑非球面的在線檢測(cè),通過(guò)計(jì)算機(jī)仿真研究橫向剪切干涉測(cè)量的非球面面形,實(shí)現(xiàn)其二維波面的重建.分別對(duì)仿真中獲得的被測(cè)非球面在x方向和y方向的兩個(gè)差分波前中剪切量大小和采樣點(diǎn)個(gè)數(shù)的選取進(jìn)行分析,利用最小二乘法求取波差值,采用Zernike多項(xiàng)式擬合法進(jìn)行波前重建,在保證高準(zhǔn)確度測(cè)量情況下,對(duì)一被測(cè)拋物面面形進(jìn)行計(jì)算機(jī)仿真實(shí)驗(yàn),結(jié)果表明:最適合的剪切量是其被測(cè)口徑的十分之一大小,此時(shí)只需要對(duì)其選取49個(gè)離散數(shù)據(jù)采樣點(diǎn),采用澤尼克多項(xiàng)式擬合就可得到二維波面的形貌.該結(jié)論為相移式橫向剪切干涉的二維波前重建提供了理論指導(dǎo),同時(shí),也為大口徑非球面在線測(cè)量的實(shí)際應(yīng)用提供了技術(shù)支撐.
【作者單位】： 西安工業(yè)大學(xué)陜西省薄膜技術(shù)與光學(xué)檢測(cè)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)檢測(cè) 橫向剪切干涉 最小二乘法 Zernike擬合 剪切量 大口徑拋物面 仿真實(shí)驗(yàn)
【基金】：陜西省科技廳(No.2014KW05) 陜西省教育廳(No.13JS039)資助
【分類(lèi)號(hào)】：TH74
【正文快照】： 0引言非球面作為特殊的光學(xué)元件在天文光學(xué)、空間光學(xué)以及國(guó)防、軍工等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用.1930年M.P.Rimme和J.C.Wyant研制了兩個(gè)頻率相同的交叉光柵剪切量可調(diào)橫向剪切干涉儀[1];Yatagai研制了基1-2002130于馬赫-曾德?tīng)柛缮鎯x的相移橫向剪切干涉儀[2];上海光學(xué)精密機(jī)械研究

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【相似文獻(xiàn)】

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