本文關(guān)鍵詞：一種光機系統(tǒng)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性評估方法

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【摘要】：為了評估光機結(jié)構(gòu)的長期穩(wěn)定性,提出了一種偏移量解算的穩(wěn)定性評估方案。首先進行數(shù)學(xué)建模,通過敏感矩陣建立了光機結(jié)構(gòu)偏移量與系統(tǒng)波像差變化量的關(guān)系式,并給出了基于奇異值分解的偏移量求解方法。然后以微縮投影系統(tǒng)為研究對象,建立了敏感矩陣,在奇異值分解的基礎(chǔ)上分析了像差奇異值向量與結(jié)構(gòu)參數(shù)奇異值向量的對應(yīng)關(guān)系。通過在實際搭建的微縮投影系統(tǒng)中人為引入偏移量,并與理論解算值進行對比,驗證了方案的可行性。最后對系統(tǒng)長期穩(wěn)定性進行了測試,為后續(xù)的結(jié)構(gòu)優(yōu)化提供了指導(dǎo)。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 測量 長期穩(wěn)定性 敏感矩陣 奇異值分解
【基金】：國家重大科技專項(2008ZX02501-008)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言高精度的光學(xué)系統(tǒng)需要有良好的系統(tǒng)波面長期穩(wěn)定性以滿足系統(tǒng)標(biāo)定和裝調(diào)的需求[1],而系統(tǒng)的波面穩(wěn)定性依賴于系統(tǒng)光機結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。光學(xué)系統(tǒng)光機結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性是在系統(tǒng)設(shè)計和制造過程中需要重點考慮的內(nèi)容之一[2]。系統(tǒng)機械結(jié)構(gòu)的裝配應(yīng)力釋放和所處環(huán)境溫度的變化均能引

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