杠桿式尺蠖壓電直線驅(qū)動(dòng)器
本文關(guān)鍵詞:杠桿式尺蠖壓電直線驅(qū)動(dòng)器
更多相關(guān)文章: 尺蠖驅(qū)動(dòng)器 柔性鉸鏈 壓電陶瓷 有限元分析
【摘要】:設(shè)計(jì)了一種基于尺蠖運(yùn)動(dòng)原理的壓電直線驅(qū)動(dòng)器,用于解決光學(xué)領(lǐng)域中的精密定位問(wèn)題。該驅(qū)動(dòng)器采用了對(duì)稱杠桿式位移放大機(jī)構(gòu),在保證鉗緊力的同時(shí),可以獲得較大的驅(qū)動(dòng)位移。闡述了尺蠖式壓電驅(qū)動(dòng)器的工作原理,對(duì)杠桿式柔性放大機(jī)構(gòu)的位移損失、壓電陶瓷與柔性機(jī)構(gòu)的耦合特性及箝位機(jī)構(gòu)與中間驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的剛度進(jìn)行了分析。利用有限元軟件Ansys對(duì)鉗位機(jī)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的變形、應(yīng)力、輸出位移和固有頻率等參數(shù)進(jìn)行了仿真分析。最后,搭建了實(shí)驗(yàn)平臺(tái),測(cè)試了驅(qū)動(dòng)器的各項(xiàng)性能。測(cè)試結(jié)果顯示,該驅(qū)動(dòng)器的行程為±25mm,鉗緊力為17N,承載力為11N,最大和最小步距分別為55μm和60nm。當(dāng)驅(qū)動(dòng)電壓為150V時(shí),驅(qū)動(dòng)器的最高驅(qū)動(dòng)速度為1.259mm/s。得到的性能指標(biāo)滿足光學(xué)領(lǐng)域精密定位需要。
【作者單位】: 上海大學(xué)機(jī)電工程與自動(dòng)化學(xué)院;蘇州大學(xué)機(jī)器人與微系統(tǒng)研究中心;
【關(guān)鍵詞】: 尺蠖驅(qū)動(dòng)器 柔性鉸鏈 壓電陶瓷 有限元分析
【基金】:國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.50905105) 上海市自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.13ZR1415800) 上海市教育委員會(huì)科研創(chuàng)新項(xiàng)目(No.14YZ008) 江蘇省先進(jìn)機(jī)器人技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室科研基金資助項(xiàng)目(No.JAR201304)
【分類號(hào)】:TH703
【正文快照】: 1引言隨著微機(jī)械加工、超精密加工與測(cè)量、精密光學(xué)工程、生物工程、現(xiàn)代醫(yī)學(xué)、航空航天等領(lǐng)域的迅速發(fā)展,傳統(tǒng)的直線電機(jī)受工作原理和機(jī)械結(jié)構(gòu)的限制,已無(wú)法滿足超精密和高精度定位的要求,迫切需要納米級(jí)、亞納米級(jí)精度的超精密直線驅(qū)動(dòng)器[1-3]來(lái)?yè)?dān)當(dāng)其中的定位系統(tǒng)。目前,各
【參考文獻(xiàn)】
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【共引文獻(xiàn)】
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8 王學(xué)亮;李佩s,
本文編號(hào):732174
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