發(fā)布時間：2017-08-24 10:36

  本文關(guān)鍵詞：高加速度宏微運動平臺研究

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【摘要】：對高加速度宏微運動平臺進(jìn)行了研究,在分析宏微復(fù)合驅(qū)動技術(shù)的基礎(chǔ)上,采用一種新型的宏微驅(qū)動方式,研制了基于壓電陶瓷的高加速度宏微運動平臺。宏運動由音圈電機驅(qū)動,可實現(xiàn)高加速度、大行程運動;微運動由安裝在音圈電機軸上的壓電陶瓷驅(qū)動,用以補償宏動所產(chǎn)生的定位誤差,達(dá)到高精度的設(shè)計目標(biāo)。在微動過程中,由絕對式直線光柵尺實現(xiàn)閉環(huán)位置反饋。根據(jù)設(shè)計要求,搭建了宏微驅(qū)動高加速度高精度定位平臺,通過實驗驗證其性能。實驗結(jié)果表明,該宏微運動平臺加速度大于10g,重復(fù)定位精度小于1μm。
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)機電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 運動平臺 高加速度 高精度 宏微驅(qū)動
【基金】：國家自然科學(xué)基金(U1134004) 廣東省高等學(xué)校科技創(chuàng)新項目(2012CXZD0020) 廣東省戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)專項資金(2012A080303004)
【分類號】：TH703
【正文快照】： 1引言隨著以集成電路為主體的微電子制造業(yè)的發(fā)展,裝備對運動系統(tǒng)的行程、加速度、定位精度等提出了極高的要求。未來封裝設(shè)備的技術(shù)水平:定位精度1μm,運動加速度為(12~15)g[1]。這些指標(biāo)超出了傳統(tǒng)封裝設(shè)備的極限工作范圍,對新一代的封裝設(shè)備的研究勢在必行。精密運動平臺

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 李運堂;許昌;李孝祿;;面向芯片封裝高加速度高精度氣浮定位平臺的有限元分析[J];機械設(shè)計與制造;2008年09期

2 苗海;;激光測速系統(tǒng)[J];激光與紅外;1972年01期

3 蔡田;張鳴;朱煜;胡金春;;超精密氣浮工件臺誤差建模[J];清華大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2011年06期

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 張勝泉;面向IC封裝的高速精密定位系統(tǒng)設(shè)計與研究[D];天津大學(xué);2007年

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本文編號：730842