本文關(guān)鍵詞：高加速度宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)研究

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【摘要】：對(duì)高加速度宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行了研究,在分析宏微復(fù)合驅(qū)動(dòng)技術(shù)的基礎(chǔ)上,采用一種新型的宏微驅(qū)動(dòng)方式,研制了基于壓電陶瓷的高加速度宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。宏運(yùn)動(dòng)由音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng),可實(shí)現(xiàn)高加速度、大行程運(yùn)動(dòng);微運(yùn)動(dòng)由安裝在音圈電機(jī)軸上的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),用以補(bǔ)償宏動(dòng)所產(chǎn)生的定位誤差,達(dá)到高精度的設(shè)計(jì)目標(biāo)。在微動(dòng)過程中,由絕對(duì)式直線光柵尺實(shí)現(xiàn)閉環(huán)位置反饋。根據(jù)設(shè)計(jì)要求,搭建了宏微驅(qū)動(dòng)高加速度高精度定位平臺(tái),通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證其性能。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)加速度大于10g,重復(fù)定位精度小于1μm。
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 運(yùn)動(dòng)平臺(tái) 高加速度 高精度 宏微驅(qū)動(dòng)
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(U1134004) 廣東省高等學(xué)�？萍紕�(chuàng)新項(xiàng)目(2012CXZD0020) 廣東省戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)專項(xiàng)資金(2012A080303004)
【分類號(hào)】：TH703
【正文快照】： 1引言隨著以集成電路為主體的微電子制造業(yè)的發(fā)展,裝備對(duì)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的行程、加速度、定位精度等提出了極高的要求。未來封裝設(shè)備的技術(shù)水平:定位精度1μm,運(yùn)動(dòng)加速度為(12~15)g[1]。這些指標(biāo)超出了傳統(tǒng)封裝設(shè)備的極限工作范圍,對(duì)新一代的封裝設(shè)備的研究勢(shì)在必行。精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 李運(yùn)堂;許昌;李孝祿;;面向芯片封裝高加速度高精度氣浮定位平臺(tái)的有限元分析[J];機(jī)械設(shè)計(jì)與制造;2008年09期

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3 蔡田;張鳴;朱煜;胡金春;;超精密氣浮工件臺(tái)誤差建模[J];清華大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2011年06期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

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2 郭翠娟;超高加速度精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)研制[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2011年

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本文編號(hào)：730842