發(fā)布時(shí)間：2017-08-23 15:42

  本文關(guān)鍵詞：一種新型壓阻式微加速度計(jì)的研究與設(shè)計(jì)

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【摘要】：對于廣泛采用的壓阻式微加速度計(jì),在傳統(tǒng)工藝下,提高量程和固有頻率意味著增加梁厚,減小應(yīng)力,而提高靈敏度又要求減小梁厚,這是相互矛盾的。設(shè)計(jì)了一種4邊4梁結(jié)構(gòu)的高過載壓阻式微加速度計(jì),在傳統(tǒng)梁-島結(jié)構(gòu)微加速度計(jì)的基礎(chǔ)上進(jìn)行了改進(jìn),采用主梁和微梁相結(jié)合的設(shè)計(jì)思想,在提高固有頻率、量程的同時(shí)提高了靈敏度。在梁的末端采用了新式的延伸梁結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),有效地消除了集中應(yīng)力的現(xiàn)象,提高了結(jié)構(gòu)的抗過載能力。對其進(jìn)行了阻尼分析和壓阻元件的設(shè)計(jì),并給出了可行的版圖設(shè)計(jì)方案。仿真結(jié)果表明,該微加速度計(jì)的各項(xiàng)指標(biāo)均滿足設(shè)計(jì)要求,具有明顯的優(yōu)越性。
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測試技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器科學(xué)與動態(tài)測試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)計(jì)算機(jī)與控制工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 壓阻式微加速度計(jì) 延伸梁 阻尼 壓阻元件 版圖設(shè)計(jì)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 0引言高過載微加速度計(jì)的工作環(huán)境一般較惡劣,這對傳感器的量程、頻響和可靠性提出了很高的要求。采用傳統(tǒng)工藝的微加速度計(jì)技術(shù)基本上已達(dá)到極限[1],很難對其性能進(jìn)行改善來滿足高沖擊測試的要求。而采用微機(jī)械加工工藝的高過載微加速度計(jì),具有體積小,量程高,頻響高,精度高,

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前1條

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【相似文獻(xiàn)】

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中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 劉曉e，

本文編號：725891