本文關鍵詞：一種新型壓阻式微加速度計的研究與設計

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【摘要】：對于廣泛采用的壓阻式微加速度計,在傳統(tǒng)工藝下,提高量程和固有頻率意味著增加梁厚,減小應力,而提高靈敏度又要求減小梁厚,這是相互矛盾的。設計了一種4邊4梁結構的高過載壓阻式微加速度計,在傳統(tǒng)梁-島結構微加速度計的基礎上進行了改進,采用主梁和微梁相結合的設計思想,在提高固有頻率、量程的同時提高了靈敏度。在梁的末端采用了新式的延伸梁結構設計,有效地消除了集中應力的現(xiàn)象,提高了結構的抗過載能力。對其進行了阻尼分析和壓阻元件的設計,并給出了可行的版圖設計方案。仿真結果表明,該微加速度計的各項指標均滿足設計要求,具有明顯的優(yōu)越性。
【作者單位】： 中北大學電子測試技術國家重點實驗室;中北大學儀器科學與動態(tài)測試教育部重點實驗室;中北大學計算機與控制工程學院;
【關鍵詞】： 壓阻式微加速度計 延伸梁 阻尼 壓阻元件 版圖設計
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 0引言高過載微加速度計的工作環(huán)境一般較惡劣,這對傳感器的量程、頻響和可靠性提出了很高的要求。采用傳統(tǒng)工藝的微加速度計技術基本上已達到極限[1],很難對其性能進行改善來滿足高沖擊測試的要求。而采用微機械加工工藝的高過載微加速度計,具有體積小,量程高,頻響高,精度高,

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本文編號：725891