本文關(guān)鍵詞：基于非理想標準鏡的子孔徑拼接干涉檢測技術(shù)研究

  更多相關(guān)文章： 光學(xué)檢測 干涉測量 子孔徑拼接 最大似然估計 Zernike多項式擬合

【摘要】：在大口徑光學(xué)鏡面的檢測中,隨著參考鏡尺寸的增加,加工精度的制約,重力變形,溫度,環(huán)境等因素的影響使得參考鏡在檢測中已經(jīng)不能作為理想平面鏡。文中基于最大似然估計(ML)算法,Zernike多項式擬合對利用非理想平面鏡作為參考鏡的子孔徑拼接檢測建立了一套合理的拼接算法和數(shù)學(xué)模型。并結(jié)合工程實例,完成了對2.5 m×3.5 m橢圓形平面鏡的模擬拼接實驗,拼接前后全孔徑面形誤差分布是一致的,其PV值和RMS值的偏差分別為0.022λ與0.001 3λ。全口徑相位分布的PV值與RMS值的相對誤差分別為2.81%與0.81%。實驗結(jié)果表明:利用ML拼接算法可以高精度地完成對參考鏡為非理想平面的大口徑平面鏡的拼接檢測。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所中國科學(xué)院光學(xué)系統(tǒng)先進制造技術(shù)重點實驗室;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)檢測 干涉測量 子孔徑拼接 最大似然估計 Zernike多項式擬合
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61036015) 國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(O8663NJ090)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 0引言在軍事、民用等領(lǐng)域,大口徑光學(xué)系統(tǒng)發(fā)揮著越來越重要的作用。在傳統(tǒng)的檢測方法中,檢測大口徑平面鏡通常需要與其口徑大小相當?shù)臉藴势矫鎱⒖肩R[1],但是這些標準鏡面的加工過程隨著其口徑的增大變得十分復(fù)雜,工藝要求也十分嚴格,涉及到鏡坯材料、鏡面支撐、鏡面加工設(shè)備

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 徐清蘭,伍凡,吳時彬,王家金;輕質(zhì)碳化硅平面反射鏡超光滑表面加工[J];光電工程;2004年09期

2 汪利華;吳時彬;侯溪;匡龍;曹學(xué)東;;子孔徑拼接干涉檢測大口徑平面波前[J];光電工程;2009年06期

3 王孝坤;張學(xué)軍;;子孔徑拼接檢測非球面的初步研究[J];光學(xué)技術(shù);2006年05期

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 韓媛媛;張宇民;韓杰才;;碳化硅反射鏡技術(shù)的研究現(xiàn)狀[J];材料導(dǎo)報;2005年04期

2 唐惠東;李龍珠;孫媛媛;譚壽洪;;SiC反射鏡鏡坯制備工藝的綜述與探討[J];佛山陶瓷;2011年08期

3 汪利華;吳時彬;侯溪;匡龍;曹學(xué)東;;子孔徑拼接干涉檢測大口徑平面波前[J];光電工程;2009年06期

4 明名;楊飛;陳寶剛;李劍鋒;林旭東;;補償器法檢測非球面過程中易出現(xiàn)的誤區(qū)[J];光電工程;2010年10期

5 吳晶;王建立;林旭東;;基于Shack-Hartmann的子孔徑拼接波前檢驗技術(shù)[J];光電工程;2011年01期

6 石峰;戴一帆;彭小強;康念輝;劉志軍;;納米金剛石磨料磁流變拋光材料去除機理與工藝研究[J];國防科技大學(xué)學(xué)報;2009年04期

7 滿玉春;張學(xué)軍;;子區(qū)域拼接數(shù)字莫爾條紋非球面檢測的理論分析[J];光學(xué)精密工程;2008年03期

8 丁凌艷;戴一帆;陳善勇;;平面子孔徑拼接測量研究[J];光學(xué)精密工程;2008年06期

9 張鵬飛;趙宏;周翔;李進軍;;采用立體視覺實現(xiàn)子孔徑拼接測量的工件定位[J];光學(xué)精密工程;2010年02期

10 張廣玉;國紹文;王武義;趙學(xué)增;;碳化硅指向反射鏡軸的高精度鑲接技術(shù)研究[J];光學(xué)技術(shù);2008年01期

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 賈立德;光學(xué)非球面坐標測量關(guān)鍵技術(shù)研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2008年

2 張金平;夏克—哈特曼波前傳感器檢測大口徑非球面應(yīng)用研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機械與物理研究所）;2012年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 倪江楠;光學(xué)自由曲面檢測光路方案及關(guān)鍵部件設(shè)計研究[D];南京理工大學(xué);2011年

2 許靜;剪切干涉測量光學(xué)元件的波前重建方法及其仿真研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

3 馬志成;大口徑平面光學(xué)元件加工的工藝方法研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機械與物理研究所）;2010年

4 吳晶;基于Shack-Hartmann的子孔徑拼接波前檢測技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機械與物理研究所）;2010年

5 鄭婉U，

本文編號：722021