本文關鍵詞：基于非理想標準鏡的子孔徑拼接干涉檢測技術研究

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【摘要】：在大口徑光學鏡面的檢測中,隨著參考鏡尺寸的增加,加工精度的制約,重力變形,溫度,環(huán)境等因素的影響使得參考鏡在檢測中已經不能作為理想平面鏡。文中基于最大似然估計(ML)算法,Zernike多項式擬合對利用非理想平面鏡作為參考鏡的子孔徑拼接檢測建立了一套合理的拼接算法和數學模型。并結合工程實例,完成了對2.5 m×3.5 m橢圓形平面鏡的模擬拼接實驗,拼接前后全孔徑面形誤差分布是一致的,其PV值和RMS值的偏差分別為0.022λ與0.001 3λ。全口徑相位分布的PV值與RMS值的相對誤差分別為2.81%與0.81%。實驗結果表明:利用ML拼接算法可以高精度地完成對參考鏡為非理想平面的大口徑平面鏡的拼接檢測。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所中國科學院光學系統(tǒng)先進制造技術重點實驗室;中國科學院大學;
【關鍵詞】： 光學檢測 干涉測量 子孔徑拼接 最大似然估計 Zernike多項式擬合
【基金】：國家自然科學基金(61036015) 國家高技術研究發(fā)展計劃(O8663NJ090)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 0引言在軍事、民用等領域,大口徑光學系統(tǒng)發(fā)揮著越來越重要的作用。在傳統(tǒng)的檢測方法中,檢測大口徑平面鏡通常需要與其口徑大小相當的標準平面參考鏡[1],但是這些標準鏡面的加工過程隨著其口徑的增大變得十分復雜,工藝要求也十分嚴格,涉及到鏡坯材料、鏡面支撐、鏡面加工設備

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本文編號：722021