本文關(guān)鍵詞：大口徑非圓形光學(xué)平面的五棱鏡掃描檢測(cè)技術(shù)研究

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【摘要】：為了解決非圓形大口徑光學(xué)平面鏡加工過程中的高精度檢測(cè)問題,針對(duì)五棱鏡掃描技術(shù),使用一種基于多項(xiàng)式內(nèi)積以及cholesky分解的非遞歸方法進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,同時(shí)編寫了檢測(cè)擬合程序,并結(jié)合工程實(shí)例,對(duì)30m望遠(yuǎn)鏡(TMT),thirty meter telescope)項(xiàng)目的三鏡(2.5m×3.5m橢圓形平面鏡)進(jìn)行了模擬檢測(cè)的Monte-Carlo分析。分析結(jié)果表明,五棱鏡掃描系統(tǒng)對(duì)TMT三鏡低階像差的檢測(cè)精度可以達(dá)到30.6nm 5 rms,對(duì)power項(xiàng)、astigmatism項(xiàng)的檢測(cè)精度分別達(dá)到9.6nm rms及13.7nmrms,能夠完成大口徑非圓形光學(xué)平面鏡低像差的高精度檢測(cè)。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院大學(xué);中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國(guó)科學(xué)院光學(xué)系統(tǒng)先進(jìn)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)檢測(cè) 五棱鏡掃描系統(tǒng) 非遞歸運(yùn)算 大口徑非圓形平面鏡 Monte-Carlo分析
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61210015)資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 1引言隨著大口徑望遠(yuǎn)技術(shù)的發(fā)展,望遠(yuǎn)鏡光學(xué)系統(tǒng)的口徑逐漸增大,以規(guī)劃中的30m望遠(yuǎn)鏡(TMT,thirty meter telescope)為例,其主鏡口徑達(dá)到30m,三鏡為2.5m×3.5m的橢圓形平面鏡。大口徑的平面鏡作為望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)的折返鏡,其加工和檢測(cè)是面臨的巨大難題。Fizeau干涉檢測(cè)[1]與Ritchey，

本文編號(hào)：715095