本文關(guān)鍵詞：重疊峰解卷積在能譜面分布中的新應(yīng)用

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【摘要】：為研究重疊峰解卷積技術(shù)對能譜面分布分析結(jié)果準(zhǔn)確性的影響,以具有重疊峰的Ti-Ba材料為研究對象,對采用重疊峰解卷積技術(shù)前后的元素能譜面分布結(jié)果進(jìn)行比較。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:未采用譜峰解卷積時,Ti元素和Ba元素的能譜面分布基本相同,但元素定量分析結(jié)果顯示Ti和Ba元素并非分布在相同的區(qū)域,即未采用譜峰解卷積的Ti-Ba元素能譜面分布分析有誤;而采用譜峰解卷積技術(shù)后,可以清晰地觀察Ti元素和Ba元素分布在不同的區(qū)域。由此可知,對于具有重疊峰的元素能譜面分布(重疊峰元素未形成化合物),可采用重疊峰解卷積來解決元素的譜峰重疊問題。
【作者單位】： 復(fù)旦大學(xué)先進(jìn)材料實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： X-射線能譜儀 重疊峰 譜峰解卷積 元素面分布
【基金】：國家自然科學(xué)基金青年基金(51402053)
【分類號】：TH842
【正文快照】： 0引言掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope,SEM)和X-射線能譜儀(energy-dispersive X-rayspectroscopy,EDS)聯(lián)用是電子束微束分析技術(shù)中應(yīng)用極為廣泛的儀器,該儀器既能觀察樣品的微區(qū)形貌,又可以對樣品的化學(xué)成分進(jìn)行分析。X-射線能譜儀是目前使用最為廣泛的表面及亞

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本文編號：714029