本文關(guān)鍵詞：基于兩步相移干涉的微表面形貌檢測(cè)系統(tǒng)

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【摘要】：為了精確穩(wěn)定地測(cè)量物體微表面形貌,設(shè)計(jì)了一種基于改進(jìn)邁克爾遜結(jié)構(gòu)的空間兩步相移干涉系統(tǒng)。該系統(tǒng)在泰曼-格林偏振干涉儀的基礎(chǔ)之上,使用改進(jìn)的邁克爾遜結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)分光,采用偏振方向分別為0°和45°的兩偏振片作為相移器件,在單個(gè)CCD相機(jī)中同時(shí)記錄兩幅具有90°相移的干涉圖像,然后由離散希爾伯特變換法提取相位,獲取物體表面形貌信息。搭建了兩步相移干涉光路,并通過對(duì)玻璃平板表面的檢測(cè),驗(yàn)證了該系統(tǒng)的可行性。結(jié)果表明,在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下系統(tǒng)重復(fù)測(cè)量結(jié)果的均方根誤差小于0.02λ,在實(shí)際微表面測(cè)量中具有良好的穩(wěn)定性。
【作者單位】： 天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院光電信息技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(天津大學(xué));
【關(guān)鍵詞】： 測(cè)量與計(jì)量 空間相移干涉 邁克爾遜結(jié)構(gòu) 希爾伯特變換 測(cè)量重復(fù)性
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61275009) 高等學(xué)校博士點(diǎn)基金資助項(xiàng)目(20110032120059)
【分類號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 引言相移干涉測(cè)量技術(shù)通過提取干涉圖中相位信息來實(shí)現(xiàn)光學(xué)測(cè)量,具有非接觸、高靈敏度、無損檢測(cè)、全場(chǎng)檢測(cè)等優(yōu)點(diǎn)[1]。在相移干涉測(cè)量技術(shù)中,時(shí)間相移法在擾動(dòng)環(huán)境下測(cè)量誤差較大,只適用于靜態(tài)測(cè)量;而空間相移法在同一時(shí)刻采集多幅相移干涉圖像來獲取待測(cè)的相位信息,具有力學(xué)

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