本文關(guān)鍵詞：基于正交試驗(yàn)和綜合評(píng)判的液體靜壓導(dǎo)軌平臺(tái)多輸出優(yōu)化

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【摘要】：運(yùn)用正交試驗(yàn)設(shè)計(jì)與多輸出綜合評(píng)判相結(jié)合的方法,對(duì)超精密液體靜壓導(dǎo)軌平臺(tái)整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)。通過(guò)有限元軟件模擬正交實(shí)驗(yàn),結(jié)合模糊數(shù)學(xué)中的綜合評(píng)判法對(duì)分析的結(jié)果進(jìn)行綜合評(píng)分。通過(guò)對(duì)綜合評(píng)分進(jìn)行極差分析,確定了影響導(dǎo)軌平臺(tái)變形的關(guān)鍵因素和非關(guān)鍵因素,建立導(dǎo)軌平臺(tái)機(jī)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)數(shù)學(xué)模型。根據(jù)優(yōu)化結(jié)果提出全新的更為合理的液體靜壓導(dǎo)軌平臺(tái)設(shè)計(jì)方案。該設(shè)計(jì)不僅有助于減小導(dǎo)軌的變形、提高平臺(tái)導(dǎo)軌面間的平行度精度,還在減小整體質(zhì)量方面取得了很好的效果。
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)廣東省微納加工技術(shù)與裝備重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 液體靜壓導(dǎo)軌平臺(tái) 有限元 正交試驗(yàn)設(shè)計(jì) 多輸出 綜合評(píng)判法
【基金】：廣東省微納加工技術(shù)與裝備重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目(2011A060901021) 廣東省引進(jìn)創(chuàng)新科研團(tuán)隊(duì)計(jì)劃資助項(xiàng)目(201001G0104781202) 高等學(xué)校博士學(xué)科點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)科研基金項(xiàng)目(20114420110001) 企業(yè)科技特派員工作站建設(shè)項(xiàng)目(2011B090600007)
【分類(lèi)號(hào)】：TH703.4
【正文快照】： 超精密機(jī)床的性能,主要取決于其關(guān)鍵部件的性能,導(dǎo)軌副是直接保證各運(yùn)動(dòng)部件之間相對(duì)位置精度和相對(duì)運(yùn)動(dòng)精度的重要部件[1]。液體靜壓導(dǎo)軌能夠很好地解決普通導(dǎo)軌常遇到的振動(dòng)與摩擦問(wèn)題,因此液體靜壓導(dǎo)軌無(wú)疑是超精密機(jī)床的最佳方案之一[2]。為保證液體靜壓導(dǎo)軌平臺(tái)高速、高

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前5條

1 劉成祥;;液體靜壓導(dǎo)軌恒流量控制的設(shè)計(jì)與分析[J];機(jī)床與液壓;2008年07期

2 羅松保,張建明;非球面曲面的超精密加工與測(cè)量技術(shù)的研究[J];制造技術(shù)與機(jī)床;2003年09期

3 張翠林,徐豐仁,傅小藝,李友勤;電子束曝光機(jī)工件臺(tái)X向靜壓氣浮導(dǎo)軌的研制[J];微細(xì)加工技術(shù);1989年02期

4 胡競(jìng)湘;φ1.6米圓臺(tái)立式磨床采用恒流靜壓導(dǎo)軌的研制[J];機(jī)床與液壓;1999年03期

5 羅松保,張建明;非球面曲面光學(xué)零件超精密加工裝備與技術(shù)[J];光學(xué)精密工程;2003年01期

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本文編號(hào)：684899