本文關(guān)鍵詞：基于正交試驗和綜合評判的液體靜壓導(dǎo)軌平臺多輸出優(yōu)化

  更多相關(guān)文章： 液體靜壓導(dǎo)軌平臺 有限元 正交試驗設(shè)計 多輸出 綜合評判法

【摘要】：運用正交試驗設(shè)計與多輸出綜合評判相結(jié)合的方法,對超精密液體靜壓導(dǎo)軌平臺整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計。通過有限元軟件模擬正交實驗,結(jié)合模糊數(shù)學(xué)中的綜合評判法對分析的結(jié)果進(jìn)行綜合評分。通過對綜合評分進(jìn)行極差分析,確定了影響導(dǎo)軌平臺變形的關(guān)鍵因素和非關(guān)鍵因素,建立導(dǎo)軌平臺機構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計數(shù)學(xué)模型。根據(jù)優(yōu)化結(jié)果提出全新的更為合理的液體靜壓導(dǎo)軌平臺設(shè)計方案。該設(shè)計不僅有助于減小導(dǎo)軌的變形、提高平臺導(dǎo)軌面間的平行度精度,還在減小整體質(zhì)量方面取得了很好的效果。
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)廣東省微納加工技術(shù)與裝備重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 液體靜壓導(dǎo)軌平臺 有限元 正交試驗設(shè)計 多輸出 綜合評判法
【基金】：廣東省微納加工技術(shù)與裝備重點實驗室項目(2011A060901021) 廣東省引進(jìn)創(chuàng)新科研團隊計劃資助項目(201001G0104781202) 高等學(xué)校博士學(xué)科點專項科研基金項目(20114420110001) 企業(yè)科技特派員工作站建設(shè)項目(2011B090600007)
【分類號】：TH703.4
【正文快照】： 超精密機床的性能,主要取決于其關(guān)鍵部件的性能,導(dǎo)軌副是直接保證各運動部件之間相對位置精度和相對運動精度的重要部件[1]。液體靜壓導(dǎo)軌能夠很好地解決普通導(dǎo)軌常遇到的振動與摩擦問題,因此液體靜壓導(dǎo)軌無疑是超精密機床的最佳方案之一[2]。為保證液體靜壓導(dǎo)軌平臺高速、高

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 劉成祥;;液體靜壓導(dǎo)軌恒流量控制的設(shè)計與分析[J];機床與液壓;2008年07期

2 羅松保,張建明;非球面曲面的超精密加工與測量技術(shù)的研究[J];制造技術(shù)與機床;2003年09期

3 張翠林,徐豐仁,傅小藝,李友勤;電子束曝光機工件臺X向靜壓氣浮導(dǎo)軌的研制[J];微細(xì)加工技術(shù);1989年02期

4 胡競湘;φ1.6米圓臺立式磨床采用恒流靜壓導(dǎo)軌的研制[J];機床與液壓;1999年03期

5 羅松保,張建明;非球面曲面光學(xué)零件超精密加工裝備與技術(shù)[J];光學(xué)精密工程;2003年01期

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本文編號：684899