本文關(guān)鍵詞：1550nm陷波濾光片制備工藝技術(shù)研究

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【摘要】：陷波濾光片在抗激光損傷、激光防護(hù)和光電對(duì)抗領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,如何提高其通帶透過(guò)率,降低陷波點(diǎn)透過(guò)率是研究熱點(diǎn)之一。基于Rugate理論設(shè)計(jì)了400nm~2 500nm波段1 550nm陷波濾光片,分析了Rugate折射率函數(shù)各參數(shù)對(duì)光譜性能的影響。采用PECVD技術(shù)在K9玻璃基底上鍍制了單面的1 550nm陷波濾光片,通帶的平均透過(guò)率達(dá)到88.54%,在1 550nm處的透過(guò)率為3.62%。
【作者單位】： 西安工業(yè)大學(xué);陜西省薄膜技術(shù)與光學(xué)檢測(cè)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： PECVD Rugate 陷波濾光片
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 引言從某一波段透射光譜中去除某一波帶的濾光片,稱之為陷波濾光片。這種光學(xué)薄膜在抗激光損傷、激光防護(hù)和光電對(duì)抗領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。陷波濾光片制造的關(guān)鍵技術(shù)是在提高其通帶透過(guò)率的同時(shí)降低陷波點(diǎn)透過(guò)率。Rugate濾光片是漸變折射率光學(xué)薄膜,其折射率沿基底表面隨膜厚有規(guī)則周

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