發(fā)布時(shí)間：2017-08-11 06:22

  本文關(guān)鍵詞：基于YAG透明陶瓷制作衍射光柵元件的研究

  更多相關(guān)文章： 衍射光柵 YAG透明陶瓷 磁控濺射 接觸式曝光系統(tǒng)

【摘要】：研究并制作了以釔鋁石榴石(YAG)透明陶瓷為基底材料的衍射光柵元件。通過(guò)磁控濺射技術(shù)在YAG透明陶瓷表面濺射一層均勻致密的金屬鉻,獲得帶有硬掩模的陶瓷樣品。借助接觸式曝光系統(tǒng)進(jìn)行光刻,反復(fù)試驗(yàn),獲得帶有衍射光柵的YAG透明陶瓷樣品。經(jīng)光學(xué)輪廓儀檢測(cè),樣品鉻膜厚0.072μm,光柵細(xì)節(jié)得到完好保留。實(shí)際光柵的衍射圖樣再次驗(yàn)證了以YAG透明陶瓷代替?zhèn)鹘y(tǒng)微光刻基底材料制作衍射光柵的可行性,使得衍射光柵在更為復(fù)雜的環(huán)境下發(fā)揮作用成為可能。
【作者單位】： 南昌航空大學(xué)測(cè)試與光電工程學(xué)院;無(wú)損檢測(cè)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 衍射光柵 YAG透明陶瓷 磁控濺射 接觸式曝光系統(tǒng)
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61261026) 南昌航空大學(xué)研究生創(chuàng)新專(zhuān)項(xiàng)資金(YC2013-011)
【分類(lèi)號(hào)】：TH74
【正文快照】： 引言近年來(lái),透明陶瓷作為一種廣受關(guān)注的新型光功能材料[1-2],在軍事、科研、工業(yè)和醫(yī)療等領(lǐng)域的應(yīng)用前景十分廣闊。具有各向同性的立方晶體結(jié)構(gòu)[3]的釔鋁石榴石(yttrium aluminum garnet,YAG)因其具有優(yōu)良的光學(xué)性能、穩(wěn)定的化學(xué)性能和良好的力學(xué)性能[4],成為制備透明陶瓷的

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