本文關(guān)鍵詞：位置誤差對叉指狀微小力裝置力學(xué)特性影響分析

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【摘要】：為確定基于靜電力原理微小力裝置位置誤差對輸出結(jié)果影響,采用有限元分析方法對一種新型叉指狀微小力裝置位置變化時(shí)輸出微小力特性進(jìn)行分析。通過比較裝置極板位置在X、Y、Z方向6個(gè)自由度上發(fā)生獨(dú)立運(yùn)動及復(fù)合運(yùn)動時(shí)裝置輸出微小力變化規(guī)律,探討裝置位置誤差對叉指狀微小力裝置力學(xué)特性影響;并確定各自由度上裝置位置誤差對輸出微小力影響較小區(qū)間。結(jié)果表明不同自由度上叉指狀裝置位置誤差對裝置輸出結(jié)果影響程度不同;位置誤差控制在一定范圍內(nèi),對裝置輸出微小力影響較小,可為簡化電容式微小力源裝置設(shè)計(jì)與制造提供理論依據(jù)。
【作者單位】： 廣東省現(xiàn)代幾何與力學(xué)計(jì)量重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;廣東省計(jì)量科學(xué)研究院;
【關(guān)鍵詞】： 位置誤差 叉指電容 力學(xué)特性 微小力 數(shù)值模擬
【基金】：國家質(zhì)檢總局科技計(jì)劃項(xiàng)目(2013QK259) 廣東省公益研究與能力建設(shè)專項(xiàng)資金項(xiàng)目(2014A040401044)
【分類號】：TH823
【正文快照】： 0引言隨著科技進(jìn)步和工業(yè)發(fā)展,特別是微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的廣泛應(yīng)用,微納量級力學(xué)量應(yīng)用不斷增多,微小力量值溯源問題成為力學(xué)計(jì)量中前沿與熱點(diǎn)問題之一。由于微小力量值溯源特殊性,目前世界各國仍處于研究階段,并未建立相應(yīng)量值溯源體系。對1 c N~10 N小力,應(yīng)用中一般以標(biāo)

【參考文獻(xiàn)】

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2 徐立;鄭培亮;李闖;黃振宇;李倩;;位置誤差對叉指狀微小力裝置力學(xué)特性影響分析[J];中國測試;2015年11期

3 徐立;鄭培亮;李倩;黃振宇;;叉指狀微小力裝置力學(xué)特性的數(shù)值模擬與分析[J];中國測試;2015年09期

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【相似文獻(xiàn)】

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中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 姜京e，

本文編號：650933