本文關(guān)鍵詞：壓電陶瓷驅(qū)動的線性尺蠖驅(qū)動器設(shè)計(jì)與仿真

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【摘要】：為了實(shí)現(xiàn)納米操作中的精確定位,提出了一種壓電陶瓷驅(qū)動的線性尺蠖驅(qū)動器。這個(gè)驅(qū)動器主要由1個(gè)柔性機(jī)構(gòu)和3個(gè)壓電陶瓷構(gòu)成,其中一個(gè)壓電陶瓷用來提供驅(qū)動力,另外兩個(gè)用來交替夾緊線性導(dǎo)軌以用來實(shí)現(xiàn)尺蠖運(yùn)動。建立了反映該尺蠖電機(jī)運(yùn)動特性的理論模型,通過有限元仿真評估驅(qū)動器的性能和驗(yàn)證模型的有效性,研究了柔性機(jī)構(gòu)的變形行為和相應(yīng)的最大應(yīng)力。
【作者單位】： 新疆大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 精密定位 壓電陶瓷 尺蠖運(yùn)動 有限元仿真
【分類號】：TH703
【正文快照】： 隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,高精密定位技術(shù)在精密工程中扮演著關(guān)鍵角色,例如,微裝配、納米壓印、光纖對準(zhǔn)和微納手術(shù)等[1-3]。在這些工程應(yīng)用中,對定位系統(tǒng)運(yùn)動范圍的要求往往是在毫米級別,而在分辨率方面是納米級別。影響這兩個(gè)性能的因素主要包括機(jī)械機(jī)構(gòu)、驅(qū)動器、傳感器和控制系

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本文編號：644635