發(fā)布時間：2017-08-09 02:06

  本文關(guān)鍵詞：高靈敏集成光學(xué)加速度計的優(yōu)化設(shè)計

  更多相關(guān)文章： 集成光學(xué) 加速度計 光學(xué)諧振腔 光彈效應(yīng)

【摘要】：針對基于光彈效應(yīng)的集成光學(xué)微腔懸臂梁式加速度計難以同時實現(xiàn)高靈敏度和高抗沖擊性的問題,提出增加光學(xué)微腔周長的方案。經(jīng)過詳細(xì)的理論分析得出:通過增加微腔周長可以有效地增加慣性力下微腔諧振點波長偏移量,提高探測靈敏度。設(shè)計了多回路長直跑道型微腔結(jié)構(gòu),在100μm×600μm懸臂梁區(qū)域內(nèi)集成出周長達5297μm的硅微諧振腔。利用MEMS工藝制作出所設(shè)計的微腔結(jié)構(gòu),測試品質(zhì)因數(shù)達105。該結(jié)構(gòu)應(yīng)用于加速度等傳感器中,在不減小傳感器抗沖擊性和量程的前提下,能有效提高探測靈敏度。
【作者單位】： 中北大學(xué)儀器科學(xué)與動態(tài)測試教育部重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 集成光學(xué) 加速度計 光學(xué)諧振腔 光彈效應(yīng)
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(91123036,61178058,61275166)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 0引言微光機電系統(tǒng)(MOEMS)傳感器將微納光波導(dǎo)和硅微機械系統(tǒng)相結(jié)合,具有體積小、重量輕、功耗低、靈敏度高、動態(tài)范圍大等優(yōu)點,在慣性系統(tǒng)、汽車安全、手機智能和生物檢測等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景[1~6]。其中,具有極高探測靈敏度的集成光學(xué)微腔懸臂梁式結(jié)構(gòu)頗受關(guān)注,它利用懸

【參考文獻】

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【共引文獻】

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7 李晶;樊尚春;李成;余朝發(fā);;諧振式硅微機械加速度計研究進展[J];傳感器與微系統(tǒng);2011年12期

8 許高斌;汪祖民;陳興;;SOI特種高g值MEMS加速度計設(shè)計與分析[J];電子測量與儀器學(xué)報;2010年06期

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10 林巧;李書;潘建彬;吳興坤;陳柳華;倪瑋;;高分辨率光纖加速度計[J];光學(xué)學(xué)報;2009年09期

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 祁曉瑾;MEMS高g值加速度傳感器研究[D];中北大學(xué);2007年

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 徐濤,羅武勝,呂海寶,董文娟;微硅加速度計在定向鉆進角度測量中的應(yīng)用[J];國防科技大學(xué)學(xué)報;2004年02期

2 熊V，

本文編號：643010