發(fā)布時間：2017-08-08 14:23

  本文關(guān)鍵詞：利用環(huán)形子孔徑拼接法檢測非球面反射鏡

  更多相關(guān)文章： 環(huán)形子孔徑 Zygo干涉儀 非球面檢測

【摘要】：為解決高精度檢測非球面反射鏡的難題,提出利用Zygo干涉儀完成非球面環(huán)形子孔徑檢測。通過移動待測非球面,使得由干涉儀產(chǎn)生的參考球面波,以不同的曲率半徑匹配待測非球面的各個環(huán)帶區(qū)域,分別測試每個環(huán)帶,進而完成對整個非球面的拼接檢測。以雙曲面反射鏡為例進行拼接檢測,并搭建輔助光路,利用無像差點法對拼接結(jié)果進行驗證。驗證結(jié)果表明:該方法測量誤差小于1/20λ(λ=632.8nm)。
【作者單位】： 西安應(yīng)用光學(xué)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 環(huán)形子孔徑 Zygo干涉儀 非球面檢測
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 引言在傳統(tǒng)非球面面形檢測中,通常需要搭建輔助光路進行測試,雖然檢測精度較高,但由于輔助光學(xué)元件受尺寸限制,所以檢測也具有一定局限性[1-3]。環(huán)形子孔徑拼接檢測技術(shù)作為非球面面形的一種檢測方法,最早是由Arizona大學(xué)光學(xué)中心的Y.M.Liu教授在1988年提出,并進行了實驗驗證,

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 王孝坤;王麗輝;張學(xué)軍;;子孔徑拼接干涉法檢測非球面[J];光學(xué)精密工程;2007年02期

2 張蓉竹,石琪凱,蔡邦維,許喬;子孔徑拼接干涉檢測實驗研究[J];光學(xué)技術(shù);2004年02期

3 白劍,程上彝,楊國光;大口徑鏡面的多孔徑拼接技術(shù)[J];光學(xué)學(xué)報;1997年07期

4 王孝坤;鄭立功;張學(xué)軍;張忠玉;;子孔徑拼接干涉檢測離軸非球面研究[J];光子學(xué)報;2011年01期

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 陳善勇;非球面子孔徑拼接干涉測量的幾何方法研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2006年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 季波;子孔徑拼接干涉檢測非球面光學(xué)元件[D];南京理工大學(xué);2008年

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 周慶才;沈澤軼;李敏;;組合孔徑光學(xué)系統(tǒng)的裝調(diào)和檢測[J];長春理工大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2010年02期

2 張明意;李新南;;子孔徑拼接檢驗法中傾斜的影響及消除方法[J];光電工程;2006年08期

3 王月珠;田義;李洪玉;鞠有倫;;基于標記點的子孔徑全局優(yōu)化拼接檢測法[J];光電工程;2009年05期

4 侯溪,伍凡,楊力,吳時彬,陳強;子孔徑拼接干涉測試技術(shù)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢[J];光學(xué)與光電技術(shù);2005年03期

5 王孝坤;王麗輝;張學(xué)軍;;干涉法實時測量淺度非球面技術(shù)[J];光學(xué)精密工程;2008年02期

6 滿玉春;張學(xué)軍;;子區(qū)域拼接數(shù)字莫爾條紋非球面檢測的理論分析[J];光學(xué)精密工程;2008年03期

7 喬玉晶;呂寧;;像差修正拼接法測量非球面精度的評定[J];光學(xué)精密工程;2009年03期

8 張鵬飛;趙宏;周翔;李進軍;;采用立體視覺實現(xiàn)子孔徑拼接測量的工件定位[J];光學(xué)精密工程;2010年02期

9 王孝坤;王麗輝;鄧偉杰;鄭立功;;用非零位補償法檢測大口徑非球面反射鏡[J];光學(xué)精密工程;2011年03期

10 黎發(fā)志;羅霄;趙晶麗;薛棟林;鄭立功;張學(xué)軍;;離軸非球面的計算全息圖高精度檢測技術(shù)[J];光學(xué)精密工程;2011年04期

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 劉東;通用數(shù)字化高精度非球面干涉檢測技術(shù)與系統(tǒng)研究[D];浙江大學(xué);2010年

2 王小鵬;大口徑非球面數(shù)字刀口儀測試技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2010年

3 滿玉春;基于數(shù)字莫爾條紋的非球面檢測技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機械與物理研究所）;2011年

4 喬玉晶;非球面拼接測量中偏置誤差作用機理與拼接方法研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2008年

5 鄭鵬;面陣傳感圓柱度非接觸測量方法及評定技術(shù)研究[D];上海大學(xué);2009年

6 徐建程;相位干涉測量的信息理論分析[D];中國工程物理研究院;2009年

7 賈立德;光學(xué)非球面坐標測量關(guān)鍵技術(shù)研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2008年

8 周林;光學(xué)鏡面離子束修形理論與工藝研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2008年

9 張金平;夏克—哈特曼波前傳感器檢測大口徑非球面應(yīng)用研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機械與物理研究所）;2012年

10 田超;非球面非零位環(huán)形子孔徑拼接干涉檢測技術(shù)與系統(tǒng)研究[D];浙江大學(xué);2013年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 駱永潔;非球面部分補償干涉檢測方法的誤差分析及系統(tǒng)優(yōu)化研究[D];浙江大學(xué);2011年

2 吳晶;基于Shack-Hartmann的子孔徑拼接波前檢測技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機械與物理研究所）;2010年

3 吳崢瑜;平面拼接干涉儀的子孔徑掃描定位系統(tǒng)[D];南京理工大學(xué);2012年

4 高輝;等厚干涉儀對大尺寸平面度的數(shù)字化測量[D];南京理工大學(xué);2012年

5 鄭顯鋒;基于相移干涉的大平面測量關(guān)鍵技術(shù)研究[D];西安工業(yè)大學(xué);2012年

6 劉軍;高精度波前過程檢測技術(shù)的研究[D];浙江大學(xué);2004年

7 張艷;數(shù)字刀口檢測技術(shù)的研究[D];四川大學(xué);2004年

8 張均;大口徑球面數(shù)字刀口檢測技術(shù)的研究[D];四川大學(xué);2005年

9 常山;大型望遠系統(tǒng)的波前檢測技術(shù)研究[D];四川大學(xué);2005年

10 張維;大型望遠系統(tǒng)的波前重構(gòu)模型與算法研究[D];四川大學(xué);2006年

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 陸永貴;楊建東;;光學(xué)非球面度的探討[J];長春理工大學(xué)學(xué)報;2005年04期

2 肖永鵬;任濤;;二元光學(xué)在凸非球面零件檢測中的應(yīng)用[J];東北師大學(xué)報(自然科學(xué)版);2007年03期

3 侯溪,伍凡,楊力,吳時彬,陳強;環(huán)形子孔徑拼接算法的精度影響因素分析[J];光電工程;2005年03期

4 程剛;蔣世磊;;大口徑光學(xué)件誤差均化拼接技術(shù)[J];光電工程;2006年06期

5 侯溪,伍凡,楊力,吳時彬,陳強;子孔徑拼接干涉測試技術(shù)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢[J];光學(xué)與光電技術(shù);2005年03期

6 鄢靜舟,雷凡,周必方,高志強;用Zernike多項式進行波面擬合的幾種算法[J];光學(xué)精密工程;1999年05期

7 郭培基,余景池,孫俠菲;一種大數(shù)值孔徑小非球面檢測用補償器設(shè)計[J];光學(xué)精密工程;2002年05期

8 盧振武,劉華,李鳳有;利用曲面計算全息圖進行非球面檢測[J];光學(xué)精密工程;2004年06期

9 郭培基;余景池;;用校正法提高補償器檢測法的精度[J];光學(xué)精密工程;2006年02期

10 侯溪;伍凡;楊力;吳時彬;陳強;;環(huán)形子孔徑拼接檢測大口徑非球面鏡的規(guī)劃模型及分析[J];光學(xué)精密工程;2006年02期

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 李劍;基于激光測量的自由曲面數(shù)字制造基礎(chǔ)技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2002年

2 張蓉竹;ICF系統(tǒng)光學(xué)元件高精度波前檢測技術(shù)研究[D];四川大學(xué);2003年

3 郭紅衛(wèi);多孔徑拼接技術(shù)實現(xiàn)360°面形測量[D];上海大學(xué);2001年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 王朝暄;大口徑光學(xué)平面干涉檢測的子孔徑拼接研究[D];南京理工大學(xué);2007年

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 Stephen C.Jensen;Weng W. Chow;George N.Lawrence;李澤瑜;;兩種子孔徑檢測方法的比較[J];光學(xué)工程;1985年06期

2 白劍,程上彝;子孔徑檢測及拼接的矩陣分析[J];上海交通大學(xué)學(xué)報;1997年07期

3 白劍,程上彝;子孔徑檢測及拼接的目標函數(shù)分析法[J];光學(xué)儀器;1997年S1期

4 白劍;程上彝;;子孔徑檢測及拼接的目標函數(shù)分析法[J];光學(xué)儀器;1997年Z1期

5 鄭立功;;基于子孔徑拼接法測量高精度反射鏡[J];應(yīng)用光學(xué);2014年01期

6 田愛玲;吳世霞;劉丙才;張鵬飛;;基于權(quán)重的子孔徑拼接優(yōu)化算法研究[J];光子學(xué)報;2013年08期

7 蘇云;李博;;子孔徑拼接檢測方法的目標函數(shù)優(yōu)化[J];航天返回與遙感;2008年01期

8 丁凌艷;戴一帆;陳善勇;;平面子孔徑拼接測量研究[J];光學(xué)精密工程;2008年06期

9 曹召良;胡五生;穆全全;胡立發(fā);彭增輝;劉永剛;宣麗;;子孔徑光學(xué)檢測拼接準確度實驗研究[J];光子學(xué)報;2008年06期

10 陳一巍;王飛;王高文;隋永新;楊懷江;;基于變換的子孔徑拼接新算法[J];光學(xué)學(xué)報;2013年09期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 董軍;張蓉竹;張均;許喬;蔡邦維;;子孔徑拼接檢測技術(shù)中樣本容量的確定[A];第十屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會論文（摘要集）[C];2004年

2 吳世霞;田愛玲;劉丙才;張鵬飛;;子孔徑拼接中系統(tǒng)誤差的修正方法[A];2013年（第五屆）西部光子學(xué)學(xué)術(shù)會議論文集[C];2013年

3 張蓉竹;許喬;楊春林;蔡邦維;;子孔徑拼接干涉檢測技術(shù)研究[A];大珩先生九十華誕文集暨中國光學(xué)學(xué)會2004年學(xué)術(shù)大會論文集[C];2004年

4 王青;傅英;;子孔徑拼接測試中的系統(tǒng)誤差放大效應(yīng)及其消除方法[A];第十三屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會論文（摘要集）[C];2010年

5 王寧;賈辛;邢廷文;;子孔徑拼接檢測淺度非球面的研究[A];第十屆全國光電技術(shù)學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2012年

6 陳善勇;李圣怡;戴一帆;;非球面的子孔徑拼接干涉測量方法[A];提高全民科學(xué)素質(zhì)、建設(shè)創(chuàng)新型國家——2006中國科協(xié)年會論文集（下冊）[C];2006年

7 張蓉竹;;大口徑光學(xué)鏡面子孔徑拼接檢測技術(shù)[A];提高全民科學(xué)素質(zhì)、建設(shè)創(chuàng)新型國家——2006中國科協(xié)年會論文集（下冊）[C];2006年

8 侯溪;伍凡;吳時彬;陳強;;子孔徑拼接測試技術(shù)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢[A];第十屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會論文（摘要集）[C];2004年

9 張蓉竹;楊春林;石琪凱;;子孔徑拼接干涉檢測技術(shù)[A];中國工程物理研究院科技年報（2002）[C];2002年

10 李飛;張濤;;環(huán)掃成像[A];中國通信學(xué)會第六屆學(xué)術(shù)年會論文集（下）[C];2009年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 閆力松;子孔徑拼接干涉檢測光學(xué)鏡面算法的研究[D];中國科學(xué)院研究生院(長春光學(xué)精密機械與物理研究所);2015年

2 陳一巍;子孔徑拼接檢測方法的研究[D];中國科學(xué)院研究生院(長春光學(xué)精密機械與物理研究所);2015年

3 陳善勇;非球面子孔徑拼接干涉測量的幾何方法研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2006年

4 張敏;子孔徑拼接檢測技術(shù)的研究[D];中國科學(xué)院研究生院(長春光學(xué)精密機械與物理研究所);2015年

5 高天元;子孔徑拼接成像系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計及裝調(diào)方法的研究[D];長春理工大學(xué);2012年

6 周紅;基于子帶子孔徑的低頻SAR成像及運動目標檢測技術(shù)研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2011年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 楊靖;光學(xué)鏡面子孔徑拼接算法的性能研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2008年

2 鄭婉U，

本文編號：640444