發(fā)布時(shí)間：2017-08-08 14:23

  本文關(guān)鍵詞：利用環(huán)形子孔徑拼接法檢測(cè)非球面反射鏡

  更多相關(guān)文章： 環(huán)形子孔徑 Zygo干涉儀 非球面檢測(cè)

【摘要】：為解決高精度檢測(cè)非球面反射鏡的難題,提出利用Zygo干涉儀完成非球面環(huán)形子孔徑檢測(cè)。通過(guò)移動(dòng)待測(cè)非球面,使得由干涉儀產(chǎn)生的參考球面波,以不同的曲率半徑匹配待測(cè)非球面的各個(gè)環(huán)帶區(qū)域,分別測(cè)試每個(gè)環(huán)帶,進(jìn)而完成對(duì)整個(gè)非球面的拼接檢測(cè)。以雙曲面反射鏡為例進(jìn)行拼接檢測(cè),并搭建輔助光路,利用無(wú)像差點(diǎn)法對(duì)拼接結(jié)果進(jìn)行驗(yàn)證。驗(yàn)證結(jié)果表明:該方法測(cè)量誤差小于1/20λ(λ=632.8nm)。
【作者單位】： 西安應(yīng)用光學(xué)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 環(huán)形子孔徑 Zygo干涉儀 非球面檢測(cè)
【分類號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 引言在傳統(tǒng)非球面面形檢測(cè)中,通常需要搭建輔助光路進(jìn)行測(cè)試,雖然檢測(cè)精度較高,但由于輔助光學(xué)元件受尺寸限制,所以檢測(cè)也具有一定局限性[1-3]。環(huán)形子孔徑拼接檢測(cè)技術(shù)作為非球面面形的一種檢測(cè)方法,最早是由Arizona大學(xué)光學(xué)中心的Y.M.Liu教授在1988年提出,并進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,

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本文編號(hào)：640444