本文關(guān)鍵詞：一種位移放大微動(dòng)平臺(tái)的設(shè)計(jì)和特性分析

  更多相關(guān)文章： 位移放大機(jī)構(gòu) 固有頻率 靈敏度 柔度

【摘要】：為了增大微動(dòng)平臺(tái)的工作行程,設(shè)計(jì)一種新型位移放大機(jī)構(gòu),并對(duì)其靜態(tài)和動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行分析。采用杠桿原理設(shè)計(jì)一種新型的二級(jí)微位移放大機(jī)構(gòu)。采用有限元軟件ANSYS對(duì)機(jī)構(gòu)的柔度和放大倍數(shù)進(jìn)行分析,分析結(jié)果表明所設(shè)計(jì)的平臺(tái)能放大y方向位移,放大倍數(shù)為8.81,而在x和z方向位移較小。對(duì)機(jī)構(gòu)進(jìn)行靈敏度分析表明該機(jī)構(gòu)在x、y方向的位移靈敏度分別為0.86μm/μm、8.82μm/μm,說(shuō)明機(jī)構(gòu)在放大y方向的位移反應(yīng)較靈敏。對(duì)機(jī)構(gòu)進(jìn)行模態(tài)分析,從振型可以看出該機(jī)構(gòu)能實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)方向?yàn)閤和y方向平動(dòng),但在x方向的位移較小,并且預(yù)應(yīng)力對(duì)機(jī)構(gòu)的固有頻率影響較小。研究結(jié)果表明,所設(shè)計(jì)的機(jī)構(gòu)具有較大的工作空間和較高的靈敏度。
【作者單位】： 順德職業(yè)技術(shù)學(xué)院機(jī)電工程系;江西理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 位移放大機(jī)構(gòu) 固有頻率 靈敏度 柔度
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51265016)
【分類(lèi)號(hào)】：TH703
【正文快照】： 目前,微動(dòng)平臺(tái)廣泛應(yīng)用于微電子制造、生物醫(yī)療工程、光學(xué)微裝配及超精密加工等領(lǐng)域[1-2],壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的柔性精密平臺(tái),可利用自身的彈性變形實(shí)現(xiàn)微位移的放大及導(dǎo)向,克服了傳統(tǒng)剛性工作臺(tái)的機(jī)械間隙、機(jī)械摩擦等缺陷[3-5],因此,定位精度可達(dá)納米級(jí),近年來(lái),此類(lèi)定位工作臺(tái)已成

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 胡俊峰;張憲民;;3自由度精密定位平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)特性和優(yōu)化設(shè)計(jì)[J];光學(xué)精密工程;2012年12期

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 尤晶晶;李成剛;吳洪濤;;并聯(lián)式六維加速度傳感器的參數(shù)辨識(shí)[J];光學(xué)精密工程;2013年10期

2 馬立;謝煒;劉波;孫立寧;;柔性鉸鏈微定位平臺(tái)的設(shè)計(jì)[J];光學(xué)精密工程;2014年02期

3 姚建濤;李立建;楊維;趙永生;;直圓柔性球鉸柔度矩陣的解析計(jì)算[J];光學(xué)精密工程;2014年07期

4 胡衛(wèi)華;胡俊峰;徐貴陽(yáng);;基于ANSYS的3-RRR柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu)的特性分析[J];黑龍江科技信息;2013年19期

5 胡俊峰;徐貴陽(yáng);;四種不同柔性鉸鏈的三自由度微定位平臺(tái)性能比較[J];機(jī)械設(shè)計(jì)與制造;2014年02期

6 胡俊峰;徐貴陽(yáng);;一種新型4自由度柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)和特性[J];機(jī)械科學(xué)與技術(shù);2014年04期

7 胡俊峰;徐貴陽(yáng);郝亞州;;一種新型空間微操作平臺(tái)的設(shè)計(jì)和性能[J];機(jī)械設(shè)計(jì)與研究;2014年01期

8 王凱波;須穎;邵萌;陶先臣;安冬;;兩種典型柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定性分析[J];納米技術(shù)與精密工程;2014年02期

9 張白;石照耀;林家春;;齒輪激光跟蹤在位測(cè)量的姿態(tài)調(diào)整模型[J];哈爾濱工程大學(xué)學(xué)報(bào);2014年05期

10 郭鵬;張景旭;楊飛;張巖;矯威;;2m望遠(yuǎn)鏡K鏡支撐結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)[J];紅外與激光工程;2014年06期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 郭鵬;望遠(yuǎn)鏡消旋系統(tǒng)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2013年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 于靖軍,畢樹(shù)生,宗光華;空間全柔性機(jī)構(gòu)位置分析的剛度矩陣法[J];北京航空航天大學(xué)學(xué)報(bào);2002年03期

2 于靖軍,宗光華,畢樹(shù)生;全柔性機(jī)構(gòu)與MEMS[J];光學(xué)精密工程;2001年01期

3 于靖軍;裴旭;畢樹(shù)生;宗光華;張憲民;;柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)方法的研究進(jìn)展[J];機(jī)械工程學(xué)報(bào);2010年13期

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 王景茂;楊乃呂;王俊義;;ZQZ—301型汽輪機(jī)軸向位移測(cè)量保護(hù)裝置的研制[J];汽輪機(jī)技術(shù);1985年03期

2 莊漢忠 ,顧健;電渦流傳感器在位移測(cè)量上的應(yīng)用[J];江蘇大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1991年04期

3 謝琪;超聲波絕對(duì)位移測(cè)量?jī)x[J];石油化工自動(dòng)化;1994年04期

4 宋現(xiàn)春,岳明君,李春陽(yáng);由單片機(jī)80C552構(gòu)成的電感式微位移測(cè)量?jī)x[J];計(jì)量技術(shù);1999年02期

5 呂海寶,曹聚亮,顏樹(shù)華,徐濤;光柵式大量程高分辨率位移測(cè)量研究[J];中國(guó)機(jī)械工程;2000年08期

6 張青春;采用LabJack U12數(shù)據(jù)采集器的建筑物沉降量自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)[J];儀表技術(shù);2004年06期

7 姜歌東;陶濤;梅雪松;袁淵浩;;一種基于Radon變換的精密工作臺(tái)微位移和轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)量方法[J];西安交通大學(xué)學(xué)報(bào);2009年05期

8 張雅;;試述基坑監(jiān)測(cè)工程中位移測(cè)量技術(shù)[J];內(nèi)江科技;2009年10期

9 孫洋;;滑坡地表位移監(jiān)測(cè)及其發(fā)展現(xiàn)狀[J];中國(guó)商界(下半月);2009年06期

10 邾繼貴，呂海寶，，漆新民;位移精密測(cè)量技術(shù)的研究[J];國(guó)防科技大學(xué)學(xué)報(bào);1994年02期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 何鵬;齊勇;;撞擊條件下金屬板位移—時(shí)間歷程的一種瞬態(tài)測(cè)試技術(shù)研究[A];第六屆全國(guó)爆炸力學(xué)實(shí)驗(yàn)技術(shù)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2010年

2 侯振德;秦玉文;;分形相關(guān)法位移測(cè)量的研究[A];“力學(xué)2000”學(xué)術(shù)大會(huì)論文集[C];2000年

3 侯杰;錢(qián)稼茹;趙作周;潘鵬;;基于視頻圖像和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的位移測(cè)量研究[A];第六屆全國(guó)土木工程研究生學(xué)術(shù)論壇論文集[C];2008年

4 王鳴;郭冬梅;;基于修正相移技術(shù)的激光自混合干涉儀[A];光電技術(shù)與系統(tǒng)文選——中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)光電技術(shù)專(zhuān)業(yè)委員會(huì)成立二十周年暨第十一屆全國(guó)光電技術(shù)與系統(tǒng)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2005年

5 李兆霖;姚新程;郭葒蓮;程丙英;張道中;;光能積分重心法實(shí)現(xiàn)亞像元分辨率位移測(cè)量[A];第三屆全國(guó)現(xiàn)代生物物理技術(shù)學(xué)術(shù)討論會(huì)論文摘要匯編[C];2000年

6 夏哲;符欲梅;董輝;張文;陳偉民;;大跨度橋梁二維位移圖像傳感系統(tǒng)研究[A];大珩先生九十華誕文集暨中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)2004年學(xué)術(shù)大會(huì)論文集[C];2004年

7 李龍權(quán);;地質(zhì)雷達(dá)、位移測(cè)量——深基坑施工安全監(jiān)控[A];開(kāi)拓進(jìn)取 再創(chuàng)輝煌——貴州省公路學(xué)會(huì)2008年技術(shù)交流論文集[C];2008年

8 潘兵;謝惠民;戴福隆;;用于變形和形貌測(cè)量的數(shù)字圖像相關(guān)方法:研究進(jìn)展及應(yīng)用實(shí)例[A];第十二屆全國(guó)實(shí)驗(yàn)力學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要集[C];2009年

9 李鑫;吳桂英;;激光傳感器在空中爆炸環(huán)境中的位移測(cè)量[A];第十二屆全國(guó)實(shí)驗(yàn)力學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要集[C];2009年

10 孫文光;馬寧生;章昌奕;曹正東;徐少磊;;CCD-2型折射率測(cè)定儀的實(shí)驗(yàn)研究[A];2005年全國(guó)高校非物理類(lèi)專(zhuān)業(yè)物理教育學(xué)術(shù)研討會(huì)論文集[C];2005年

中國(guó)重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前8條

1 本報(bào)記者 李春玲;橋梁支座位移測(cè)量向智能化邁進(jìn)[N];人民鐵道;2006年

2 通訊員 裘桂英 胡勝友 記者 劉純友;納米光鑷技術(shù)躋身國(guó)際前沿[N];安徽日?qǐng)?bào);2004年

3 彭會(huì)安 劉麗 張曉茵;自主創(chuàng)新贏天下[N];中國(guó)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)導(dǎo)報(bào);2006年

4 魏繼東;扎根高原 勇立潮頭[N];國(guó)家電網(wǎng)報(bào);2007年

5 湖南 李杰;軟光電編碼鑒相器的設(shè)計(jì)[N];電子報(bào);2002年

6 姜澎 通訊員 熊丙奇;納米步進(jìn)馬達(dá)研制成功[N];文匯報(bào);2003年

7 周襄楠 李江濤;納米激光器測(cè)尺在清華問(wèn)世[N];工人日?qǐng)?bào);2003年

8 周襄楠;世界首批納米激光器測(cè)尺在清華誕生[N];科技日?qǐng)?bào);2003年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 余建平;面向精密定位的平面電容式多自由度位移測(cè)量傳感器關(guān)鍵技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2013年

2 馮平;智能位移傳感器系統(tǒng)的研究[D];浙江大學(xué);2001年

3 蘇紹t

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