本文關(guān)鍵詞：一種位移放大微動平臺的設(shè)計和特性分析

  更多相關(guān)文章： 位移放大機構(gòu) 固有頻率 靈敏度 柔度

【摘要】：為了增大微動平臺的工作行程,設(shè)計一種新型位移放大機構(gòu),并對其靜態(tài)和動態(tài)特性進行分析。采用杠桿原理設(shè)計一種新型的二級微位移放大機構(gòu)。采用有限元軟件ANSYS對機構(gòu)的柔度和放大倍數(shù)進行分析,分析結(jié)果表明所設(shè)計的平臺能放大y方向位移,放大倍數(shù)為8.81,而在x和z方向位移較小。對機構(gòu)進行靈敏度分析表明該機構(gòu)在x、y方向的位移靈敏度分別為0.86μm/μm、8.82μm/μm,說明機構(gòu)在放大y方向的位移反應(yīng)較靈敏。對機構(gòu)進行模態(tài)分析,從振型可以看出該機構(gòu)能實現(xiàn)運動方向為x和y方向平動,但在x方向的位移較小,并且預(yù)應(yīng)力對機構(gòu)的固有頻率影響較小。研究結(jié)果表明,所設(shè)計的機構(gòu)具有較大的工作空間和較高的靈敏度。
【作者單位】： 順德職業(yè)技術(shù)學(xué)院機電工程系;江西理工大學(xué)機電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 位移放大機構(gòu) 固有頻率 靈敏度 柔度
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(51265016)
【分類號】：TH703
【正文快照】： 目前,微動平臺廣泛應(yīng)用于微電子制造、生物醫(yī)療工程、光學(xué)微裝配及超精密加工等領(lǐng)域[1-2],壓電陶瓷驅(qū)動的柔性精密平臺,可利用自身的彈性變形實現(xiàn)微位移的放大及導(dǎo)向,克服了傳統(tǒng)剛性工作臺的機械間隙、機械摩擦等缺陷[3-5],因此,定位精度可達納米級,近年來,此類定位工作臺已成

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3 蘇紹t

本文編號：635047