穆勒矩陣橢偏儀主控系統(tǒng)設(shè)計與實(shí)現(xiàn)
本文關(guān)鍵詞:穆勒矩陣橢偏儀主控系統(tǒng)設(shè)計與實(shí)現(xiàn)
更多相關(guān)文章: 橢偏儀 穆勒矩陣 主控系統(tǒng) STM32 角度控制 同步觸發(fā)
【摘要】:隨著納米光學(xué)測量技術(shù)的發(fā)展,能夠?qū)崿F(xiàn)對樣品非接觸、非破壞、快速甚至動態(tài)測量的橢偏測量技術(shù)得到廣泛應(yīng)用,橢偏儀就是通過檢測光的偏振特性進(jìn)行測量的一種科學(xué)儀器。穆勒矩陣橢偏儀是一種新型的橢偏儀,一次測量能夠得到16個測量參數(shù),從而獲取更多樣品信息,實(shí)現(xiàn)對光學(xué)各向異性材料的光學(xué)特性及納米結(jié)構(gòu)的三維形貌參數(shù)測量?刂葡到y(tǒng)是穆勒矩陣橢偏儀的重要組成部分,是穆勒矩陣橢偏儀能夠進(jìn)行精確測量的關(guān)鍵。本文根據(jù)穆勒矩陣橢偏儀的功能需求針對穆勒矩陣橢偏儀的主控系統(tǒng)進(jìn)行了設(shè)計,并完成了對主控系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)測試。本文主要對穆勒矩陣橢偏儀的主控系統(tǒng)進(jìn)行了整體設(shè)計和硬件平臺的搭建,完成了主控系統(tǒng)中起偏臂和檢偏臂角度控制模塊的設(shè)計,采用了角度校準(zhǔn)算法縮短了角度定位的時間。同時,為了實(shí)現(xiàn)光譜數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確采集,本文對主控系統(tǒng)中的光譜儀同步觸發(fā)控制模塊進(jìn)行了詳細(xì)設(shè)計,實(shí)現(xiàn)了對不同型號的光譜儀的觸發(fā)控制。此外,根據(jù)穆勒矩陣橢偏儀對人機(jī)交互和記錄氘燈、鎢燈使用時間的需求,在主控系統(tǒng)中設(shè)計了液晶顯示和時間記錄功能模塊。本文對主控系統(tǒng)中各個部分的電路和原理進(jìn)行了詳細(xì)地闡述,實(shí)現(xiàn)了主控系統(tǒng)所需的各項(xiàng)要求。通過對主控系統(tǒng)的分模塊測試和集成測試,以及對實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的分析,證明了主控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了光譜儀同步觸發(fā)以及液晶顯示和計時的功能要求,并滿足穆勒矩陣橢偏儀對起偏臂和檢偏臂角度定位精度要求。最后,本文對穆勒矩陣橢偏儀主控系統(tǒng)的設(shè)計做出了總結(jié)與展望。
【關(guān)鍵詞】:橢偏儀 穆勒矩陣 主控系統(tǒng) STM32 角度控制 同步觸發(fā)
【學(xué)位授予單位】:華中科技大學(xué)
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2015
【分類號】:TH744.2
【目錄】:
- 摘要4-5
- Abstract5-8
- 1 緒論8-13
- 1.1 課題來源8
- 1.2 課題研究的背景與意義8-9
- 1.3 國內(nèi)外研究現(xiàn)狀9-11
- 1.4 本文的主要研究內(nèi)容11-13
- 2. 主控系統(tǒng)整體設(shè)計13-25
- 2.1 主控系統(tǒng)功能需求分析13-17
- 2.2 主控系統(tǒng)硬件平臺設(shè)計17-23
- 2.3 本章小結(jié)23-25
- 3 主控系統(tǒng)分模塊設(shè)計25-42
- 3.1 起偏臂和檢偏臂角度控制模塊設(shè)計25-32
- 3.2 光譜儀同步觸發(fā)控制模塊設(shè)計32-37
- 3.3 液晶顯示及計時模塊設(shè)計37-41
- 3.4 本章小結(jié)41-42
- 4 主控系統(tǒng)測試與集成42-55
- 4.1 主控系統(tǒng)分模塊測試42-51
- 4.2 主控系統(tǒng)集成測試51-54
- 4.3 本章小結(jié)54-55
- 5 全文總結(jié)55-56
- 致謝56-57
- 參考文獻(xiàn)57-60
- 附錄60-61
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本文編號:633995
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