本文關(guān)鍵詞：局部多孔質(zhì)氣浮導(dǎo)軌多目標(biāo)優(yōu)化研究

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【摘要】：為了優(yōu)化局部多孔質(zhì)氣浮導(dǎo)軌的設(shè)計(jì)參數(shù),建立了包含多孔質(zhì)流量特性的氣浮導(dǎo)軌氣膜壓力特性數(shù)學(xué)模型,提出了一種基于非支配排序遺傳算法(NSGA-II)的多孔質(zhì)氣浮導(dǎo)軌優(yōu)化設(shè)計(jì)方法,實(shí)現(xiàn)了耗氣量最小和氣膜承載能力最大兩個(gè)目標(biāo)的參數(shù)優(yōu)化計(jì)算。該方法能夠獲得目標(biāo)空間內(nèi)均勻分布的Pareto解集,克服了實(shí)際設(shè)計(jì)過(guò)程中單純依靠經(jīng)驗(yàn)的缺陷。選取4組Pareto最優(yōu)解,通過(guò)改變參數(shù)分析了各參數(shù)對(duì)氣浮導(dǎo)軌性能的影響程度。結(jié)果表明,多孔質(zhì)排布位置對(duì)氣膜承載能力的影響最為顯著。
【作者單位】： 江蘇科技大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;無(wú)錫氣動(dòng)技術(shù)研究所有限公司;浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;寧波市博研氣動(dòng)技術(shù)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 多孔質(zhì) 氣浮導(dǎo)軌 氣膜 優(yōu)化
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51205174) 寧波市自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(2013A610049)
【分類(lèi)號(hào)】：TH703.4
【正文快照】： 引言隨著半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,半導(dǎo)體晶圓及液晶玻璃基板(TFT-LCD)等產(chǎn)品呈現(xiàn)大型化、薄型化發(fā)展趨勢(shì),其輸運(yùn)過(guò)程中需要采用無(wú)摩擦非接觸的方式以確保表面無(wú)劃傷�；跉飧》绞綐�(gòu)建的輸運(yùn)系統(tǒng)憑借其清潔無(wú)污染,不發(fā)熱,不生磁等優(yōu)點(diǎn),成為當(dāng)前非接觸式輸運(yùn)領(lǐng)域的主流[1]。采用

【參考文獻(xiàn)】

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1 王濤;楊玉貴;彭光正;;半導(dǎo)體及平板顯示制造業(yè)中的空氣非接觸搬運(yùn)技術(shù)[J];液晶與顯示;2009年03期

2 路波;陶國(guó)良;劉昊;向忠;;氣懸浮無(wú)摩擦氣缸的結(jié)構(gòu)多目標(biāo)優(yōu)化設(shè)計(jì)[J];中國(guó)機(jī)械工程;2008年14期

【共引文獻(xiàn)】

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2 孫建輝;蔡如鵬;袁巧玲;單曉杭;周海清;;基于氣體潤(rùn)滑的無(wú)摩擦旋轉(zhuǎn)供氣裝置[J];輕工機(jī)械;2013年04期

3 徐新正;孫建輝;袁巧玲;單曉杭;;無(wú)摩擦氣缸活塞的結(jié)構(gòu)變形分析[J];輕工機(jī)械;2014年02期

4 鐘偉;劉昊;陶國(guó)良;黎鑫;香川利春;;多孔質(zhì)氣懸浮氣膜壓力特性建模及試驗(yàn)研究[J];浙江大學(xué)學(xué)報(bào)(工學(xué)版);2012年04期

5 朱曉;陶國(guó)良;劉昊;孟德遠(yuǎn);班偉;錢(qián)鵬飛;;氣浮無(wú)摩擦氣缸及氣浮特性仿真[J];浙江大學(xué)學(xué)報(bào)(工學(xué)版);2014年02期

6 常勇;林榮富;李延平;;做平面運(yùn)動(dòng)滾子從動(dòng)件盤(pán)形凸輪機(jī)構(gòu)第Ⅱ類(lèi)綜合問(wèn)題的廣義化研究[J];中國(guó)機(jī)械工程;2014年05期

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 鄒明明;氣旋式非接觸真空吸取技術(shù)的研究[D];南京理工大學(xué);2011年

2 徐立芳;非接觸渦流負(fù)壓搬運(yùn)器的流場(chǎng)特性及實(shí)驗(yàn)研究[D];大連海事大學(xué);2010年

3 張偉;氣體靜壓軸承用三維連續(xù)網(wǎng)絡(luò)多孔Al_2O_3/ZL102材料制備及性能研究[D];南昌航空大學(xué);2013年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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1 孫雅洲;盧澤生;饒河清;;基于FLUENT軟件的多孔質(zhì)靜壓軸承靜態(tài)特性的仿真與實(shí)驗(yàn)研究[J];機(jī)床與液壓;2007年03期

2 門(mén)連通;白淑t，

本文編號(hào)：630960