本文關(guān)鍵詞：一種3-RSS微動(dòng)并聯(lián)平臺(tái)的誤差分析

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【摘要】：微動(dòng)并聯(lián)平臺(tái)應(yīng)用于微芯片裝配、光纖對接、細(xì)胞操作具有亞微米運(yùn)動(dòng)精度的工作場合,因此必須保持很高的精度。但是實(shí)際微動(dòng)并聯(lián)平臺(tái)存在著各種制造誤差,這些誤差會(huì)對微動(dòng)并聯(lián)平臺(tái)的精度產(chǎn)生影響。以一種3-RSS微動(dòng)并聯(lián)平臺(tái)為例,考慮到桿長誤差、轉(zhuǎn)動(dòng)副和球副的偏移誤差,分析了各種誤差模型下的閉環(huán)矢量方程。選常用微動(dòng)并聯(lián)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)軌跡,反解出各個(gè)誤差模型下陶瓷驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)曲線,將驅(qū)動(dòng)曲線導(dǎo)入ANSYS14.0中各誤差模型的有限元模型中,通過探針命令求出微動(dòng)動(dòng)平臺(tái)中心點(diǎn)應(yīng)變值,與理想軌跡進(jìn)行對比,得到軌跡對比圖。分析各種誤差模型的軌跡對比圖,最后得出結(jié)論:球副的加工誤差對微動(dòng)并聯(lián)平臺(tái)的精度影響最大。分析了得到各種誤差模型下的誤差值,為之后的控制奠定了基礎(chǔ)。
【作者單位】： 中國礦業(yè)大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 微動(dòng)并聯(lián)平臺(tái) 誤差源分析 閉環(huán)矢量法 ANSYS有限元分析
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51275512)資助
【分類號】：TH703
【正文快照】： 微動(dòng)并聯(lián)平臺(tái)是將并聯(lián)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)微小化而衍生出的一種新型并聯(lián)平臺(tái)。常采用柔性鉸鏈來代替?zhèn)鲃?dòng)鉸鏈,柔性鉸鏈?zhǔn)抢米钚『穸仍诹刈饔孟庐a(chǎn)生的彈性角度變形在機(jī)構(gòu)中起運(yùn)動(dòng)副作用。用柔性鉸鏈代替?zhèn)鲃?dòng)鉸鏈能夠很好地提高微動(dòng)機(jī)器人的精度;但是仍然存在著很多誤差源影響著微動(dòng)機(jī)

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 裴先強(qiáng),王齊華,王海軍;微動(dòng)圖和能量的方法在微動(dòng)研究中的應(yīng)用[J];潤滑與密封;2004年04期

2 沈明學(xué);謝興源;蔡振兵;莫繼良;朱e，

本文編號：619939