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離心輔助微模塑法制備Fe-Ni合金微流道

發(fā)布時(shí)間:2017-08-04 05:02

  本文關(guān)鍵詞:離心輔助微模塑法制備Fe-Ni合金微流道


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【摘要】:采用離心輔助微模塑方法,制備了Fe-Ni合金微流道。著重考察了分散劑含量和pH值對(duì)漿料分散性的影響,結(jié)果表明當(dāng)分散劑含量為1.5wt%和pH=4時(shí),Fe-Ni乙醇基漿料的分散性最好。用聚二甲基硅氧烷(PDMS)復(fù)制帶有微結(jié)構(gòu)的原始硅模板,在PDMS彈性模上采用離心注模方法進(jìn)行漿料的微成形。最終制備出微結(jié)構(gòu)完整、表面無(wú)裂紋、致密的Fe-Ni合金微流道,其最大線(xiàn)性收縮率為12.7%,致密度為97.3%,說(shuō)明離心輔助微模塑法是一種可行的微器件制備方法。
【作者單位】: 蘭州理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;中國(guó)科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所固體潤(rùn)滑國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】微模塑 離心注模 Fe-Ni合金 微流道
【基金】:中國(guó)科學(xué)院“百人計(jì)劃”資助項(xiàng)目(孟軍虎) 國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51375473)
【分類(lèi)號(hào)】:TH703
【正文快照】: 1引言近年來(lái),隨著微機(jī)電系統(tǒng)的迅速發(fā)展和廣泛應(yīng)用,微器件的加工技術(shù)成為研究熱點(diǎn)之一。微流道作為一種廣泛使用的微器件,主要應(yīng)用于微反應(yīng)器、微傳感器和微流體設(shè)備等微系統(tǒng)中[1]。傳統(tǒng)的微器件加工方法是基于硅微加工技術(shù)的派生技術(shù),但其成本高,加工步驟復(fù)雜,應(yīng)用于低成本、

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 張冬至;靜電及電場(chǎng)誘導(dǎo)自組裝碳納米管/聚合物薄膜制備、表征、測(cè)試與器件開(kāi)發(fā)研究[D];華南理工大學(xué);2011年

2 胡明振;濕式永磁強(qiáng)磁選機(jī)磁系研究及設(shè)備研制[D];武漢理工大學(xué);2011年

3 趙志強(qiáng);一種基于MEMS和細(xì)胞電場(chǎng)效應(yīng)的細(xì)胞融合方法的研究[D];重慶大學(xué);2006年

4 劉艷杰;永磁盤(pán)式強(qiáng)磁選機(jī)磁場(chǎng)分布優(yōu)化設(shè)計(jì)及鉀長(zhǎng)石除鐵試驗(yàn)研究[D];武漢理工大學(xué);2013年

5 江蓮梅;電阻抗微流控芯片及細(xì)胞粘連、遷移和分化過(guò)程的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)[D];華東師范大學(xué);2013年

6 汪宏;固體表面有機(jī)小分子組裝及微納米圖案化[D];廈門(mén)大學(xué);2014年

7 李臻;氧化鐵改性及氧化鈦固有光催化活性研究[D];浙江大學(xué);2014年

8 魏軒;提高環(huán)烯烴共聚物微芯片電泳分離性能的途徑及應(yīng)用[D];蘭州大學(xué);2014年

9 吳曉;基于質(zhì)量運(yùn)輸現(xiàn)象的一維,二維和三維聚合物的周期性結(jié)構(gòu)制造[D];華東師范大學(xué);2014年

10 姚永林;超細(xì)FeNi合金粉熱分解法制備及其吸波性能研究[D];中南大學(xué);2014年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 鄔建輝;特種鎳粉制備新方法研究[D];中南大學(xué);2003年

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 張鵬;左春檉;周德義;;矩形微流道內(nèi)電滲流影響因素的數(shù)值模擬[J];機(jī)械工程學(xué)報(bào);2007年03期

2 關(guān)炎芳;張國(guó)賢;金健;;新型壓電無(wú)閥微泵效率分析及試驗(yàn)研究[J];流體機(jī)械;2009年01期

3 余偉竟;劉瑩;楊大勇;;微流道壁面粗糙度影響的電滲流數(shù)值模擬[J];機(jī)械設(shè)計(jì)與研究;2009年06期

4 邵麗穎;蔣東霖;呂雪燕;范曉望;馬偉;魏仁杰;;重力場(chǎng)流分離實(shí)驗(yàn)微流道設(shè)計(jì)[J];工程與試驗(yàn);2012年01期

5 王偉,劉世炳,陳濤,左鐵釧;新型無(wú)閥微泵擴(kuò)張微流道中流體動(dòng)力學(xué)特性的仿真分析[J];工程設(shè)計(jì)學(xué)報(bào);2005年04期

6 尤學(xué)一;李勝華;肖厚蓬;;微流道粗糙壁面對(duì)流動(dòng)阻力和控制的影響[J];化學(xué)工程;2008年08期

7 周林峰;曾靜;彭艷;劉梅;;矩形微流道內(nèi)三維水力聚焦效應(yīng)理論計(jì)算[J];微電子學(xué);2013年05期

8 蔣東霖;邵麗穎;范曉望;;重力場(chǎng)流分離微流道試制與非接觸檢測(cè)[J];工程與試驗(yàn);2011年04期

9 關(guān)炎芳;張國(guó)賢;金健;;無(wú)閥微泵鋸齒型微流道結(jié)構(gòu)參數(shù)研究[J];機(jī)床與液壓;2009年03期

10 關(guān)炎芳;劉春波;張士雄;俞正寅;;鋸齒型微流道微泵流動(dòng)特性分析及性能測(cè)試[J];納米技術(shù)與精密工程;2012年05期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 蘇博;吳有智;孟軍虎;;Al_2O_3微流道的微注漿成形研究[A];中國(guó)空間科學(xué)學(xué)會(huì)空間材料專(zhuān)業(yè)委員會(huì)2012學(xué)術(shù)交流會(huì)議論文(摘要)集[C];2012年

2 楊健;鄭耀;李維仲;吳慶標(biāo);;微流道中生化分離的分子動(dòng)力學(xué)模擬研究[A];計(jì)算流體力學(xué)研究進(jìn)展——第十二屆全國(guó)計(jì)算流體力學(xué)會(huì)議論文集[C];2004年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 譚德坤;微流道內(nèi)表面效應(yīng)對(duì)流體流動(dòng)及傳熱特性的影響[D];南昌大學(xué);2014年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前9條

1 秦杰;仿生微流道散熱器結(jié)構(gòu)優(yōu)化及流動(dòng)散熱特性研究[D];電子科技大學(xué);2012年

2 劉靜;低雷諾數(shù)下微流混合效能的研究[D];吉林大學(xué);2006年

3 劉凱輝;微流道內(nèi)壓力驅(qū)動(dòng)流數(shù)值模擬研究[D];南昌大學(xué);2010年

4 王立芳;梯形微流道中電滲流的數(shù)值模擬研究[D];吉林大學(xué);2006年

5 魏子淵;基于熔融沉積犧牲層工藝的微流道制造技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2014年

6 沈亞強(qiáng);高聚物熔體在微流道內(nèi)流變行為的研究[D];鄭州大學(xué);2010年

7 蘇博;陶瓷微器件的軟刻蝕成形[D];蘭州理工大學(xué);2013年

8 蔣東霖;重力場(chǎng)流數(shù)值模擬及實(shí)驗(yàn)研究[D];吉林大學(xué);2006年

9 邵華;微流道內(nèi)的空化研究[D];浙江大學(xué);2012年



本文編號(hào):617800

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