大量程觸針式儀器測(cè)力控制系統(tǒng)研究
本文關(guān)鍵詞:大量程觸針式儀器測(cè)力控制系統(tǒng)研究
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【摘要】:大量程、高精度觸針掃描輪廓儀是曲面表面形貌綜合測(cè)量的基礎(chǔ),面臨廣泛需求。然而,杠桿觸針掃描輪廓儀的測(cè)量力隨著量程增加而增大,影響其功能和使用特性。本文研究大量程觸針式輪廓儀器測(cè)力控制系統(tǒng),以解決大量程測(cè)量時(shí)測(cè)力大范圍變化的問(wèn)題,具有實(shí)用意義。主要內(nèi)容和工作如下:(1)分析了杠桿觸針式輪廓儀傳感器掃描測(cè)量時(shí)的受力情況,推導(dǎo)了測(cè)力與測(cè)頭轉(zhuǎn)角等參數(shù)的復(fù)雜關(guān)系,建立了測(cè)力與杠桿轉(zhuǎn)角關(guān)系的簡(jiǎn)化模型。(2)研究了基于音圈電機(jī)的測(cè)力控制方法,設(shè)計(jì)了由音圈電機(jī)實(shí)施觸針式表面輪廓儀測(cè)量頭測(cè)力控制的系統(tǒng)方案及架構(gòu)。研究了音圈電機(jī)的控制策略,設(shè)計(jì)了驅(qū)動(dòng)電路。(3)分析了測(cè)力控制系統(tǒng)的控制誤差,并建立了誤差模型,通過(guò)數(shù)學(xué)推導(dǎo),對(duì)誤差模型進(jìn)行補(bǔ)償。(4)通過(guò)實(shí)驗(yàn),測(cè)試了測(cè)力控制系統(tǒng)的控制效果。通過(guò)對(duì)典型表面進(jìn)行實(shí)驗(yàn),測(cè)試了測(cè)力控制的穩(wěn)定性與準(zhǔn)確性,驗(yàn)證了測(cè)力控制系統(tǒng)在大量程觸針式儀器中應(yīng)用的可行性。
【關(guān)鍵詞】:大量程測(cè)量 測(cè)力控制 音圈電機(jī) 驅(qū)動(dòng)電路 誤差補(bǔ)償
【學(xué)位授予單位】:華中科技大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2015
【分類號(hào)】:TH87;TP273
【目錄】:
- 摘要4-5
- Abstract5-8
- 1 緒論8-13
- 1.1 課題來(lái)源8
- 1.2 目的和意義8-9
- 1.3 觸針式儀器測(cè)力控制國(guó)內(nèi)外研究概況9-11
- 1.4 本文主要研究?jī)?nèi)容11-13
- 2 測(cè)力控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)13-20
- 2.1 觸針式輪廓儀的測(cè)量頭結(jié)構(gòu)及受力分析13-17
- 2.2 測(cè)力控制系統(tǒng)的方案確定17-19
- 2.3 本章小結(jié)19-20
- 3 測(cè)力控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)20-33
- 3.1 音圈電機(jī)綜述20-23
- 3.2 測(cè)力控制系統(tǒng)中音圈電機(jī)的設(shè)計(jì)23-29
- 3.3 彈簧的選型29-30
- 3.4 測(cè)力控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)改進(jìn)30-32
- 3.5 本章小結(jié)32-33
- 4 測(cè)力控制系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)33-41
- 4.1 音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)方案33
- 4.2 音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路的設(shè)計(jì)33-40
- 4.3 本章小結(jié)40-41
- 5 測(cè)力控制的誤差分析與補(bǔ)償41-44
- 5.1 測(cè)力控制系統(tǒng)的誤差分析41-42
- 5.2 測(cè)力控制系統(tǒng)的誤差補(bǔ)償方法42-43
- 5.3 本章小結(jié)43-44
- 6 實(shí)驗(yàn)測(cè)試44-49
- 6.1 測(cè)力控制特性測(cè)試44-46
- 6.2 測(cè)力控制實(shí)驗(yàn)46-49
- 7 全文總結(jié)與展望49-50
- 7.1 全文總結(jié)49
- 7.2 工作展望49-50
- 致謝50-51
- 參考文獻(xiàn)51-54
- 附表 I 實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)54-56
- 附表 II 攻讀碩士期間發(fā)表的論文56
【相似文獻(xiàn)】
中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條
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本文編號(hào):606760
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