本文關(guān)鍵詞：外差激光干涉儀非線性誤差分析及測量

  更多相關(guān)文章： 測量 非線性誤差 外差干涉 誤差分析

【摘要】：對外差激光干涉儀中的非線性誤差理論進(jìn)行了綜述,著重分析了一階、二階非線性誤差的形成機理、非線性誤差的大小及表現(xiàn)形式,并對非線性誤差檢測和補償方法的研究進(jìn)展進(jìn)行了詳細(xì)闡述和分析,指出了各類方法的應(yīng)用特點,為開展這一方向的后續(xù)研究提供理論基礎(chǔ)。
【作者單位】： 上海理工大學(xué)上海市現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 測量 非線性誤差 外差干涉 誤差分析
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51075280)
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 1引言外差激光干涉儀的結(jié)構(gòu)簡單,抗干擾能力強,檢測方便,通過相位比較即可達(dá)到很高的測量分辨率,在納米測量中有著獨特的優(yōu)勢和廣泛的應(yīng)用。理論上,激光干涉儀工作時,激光源發(fā)出的兩個具有一定頻率差的正交線偏振光,經(jīng)偏振分光鏡分光后,兩個偏振分量分別經(jīng)測量臂和參考臂后各

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前7條

1 王林春;江月松;辛遙;桑峰;;頻率掃描干涉中參考干涉儀的非線性誤差分析[J];光電子.激光;2010年09期

2 劉洪冰;李玉棟;崔國新;張艷峰;陳靖;許京軍;孫騫;;馬赫-曾德爾外差干涉橢偏儀非線性誤差分析[J];激光技術(shù);2009年03期

3 楊軍;劉志海;苑立波;;波片對偏振激光干涉儀非線性誤差的影響[J];光子學(xué)報;2008年02期

4 吳明俊;;壓力表非線性誤差分析與調(diào)整[J];海峽科學(xué);2013年03期

5 賈增立;壓力表非線性誤差的有效校正[J];中國計量;2000年03期

6 孫繼發(fā);調(diào)速壓力表的非線性誤差[J];化工建設(shè)工程;2001年06期

7 ;[J];;年期

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 梁耀廷;多軸分光鏡組分光偏振特性檢測技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

，

本文編號：598493