本文關(guān)鍵詞：外差激光干涉儀非線性誤差分析及測量

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【摘要】：對外差激光干涉儀中的非線性誤差理論進行了綜述,著重分析了一階、二階非線性誤差的形成機理、非線性誤差的大小及表現(xiàn)形式,并對非線性誤差檢測和補償方法的研究進展進行了詳細闡述和分析,指出了各類方法的應(yīng)用特點,為開展這一方向的后續(xù)研究提供理論基礎(chǔ)。
【作者單位】： 上海理工大學(xué)上海市現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 測量 非線性誤差 外差干涉 誤差分析
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51075280)
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 1引言外差激光干涉儀的結(jié)構(gòu)簡單,抗干擾能力強,檢測方便,通過相位比較即可達到很高的測量分辨率,在納米測量中有著獨特的優(yōu)勢和廣泛的應(yīng)用。理論上,激光干涉儀工作時,激光源發(fā)出的兩個具有一定頻率差的正交線偏振光,經(jīng)偏振分光鏡分光后,兩個偏振分量分別經(jīng)測量臂和參考臂后各

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本文編號：598493