本文關(guān)鍵詞：楔形導(dǎo)模共振濾波片的光譜分析

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【摘要】：針對(duì)通信波段設(shè)計(jì)并制作了楔形波導(dǎo)層的導(dǎo)模共振濾波片(GMRF),分析并研究了其光譜特性。采用三角掩模板的方法進(jìn)行離子束刻蝕,刻蝕一定次數(shù)后獲得楔形波導(dǎo)層。光柵線條方向分為平行于和垂直于楔形波導(dǎo)層變化的方向。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,對(duì)于兩種結(jié)構(gòu),共振峰的位置與濾波片上的位置呈近似線性關(guān)系。光柵刻槽平行于楔形層變化的方向時(shí)共振峰的半峰全寬較光柵刻槽垂直于楔形層變化的方向時(shí)大。最終在20mm的樣品上,獲得了線性漸變的Ta_2O_5楔形薄膜,其反射譜在1560~1600nm范圍內(nèi)近似于線性變化。
【作者單位】： 上海理工大學(xué)光電信息與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院上海市現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室教育部光學(xué)儀器與系統(tǒng)工程中心;
【關(guān)鍵詞】： 光譜學(xué) 導(dǎo)模共振濾光片 楔形波導(dǎo)層 離子束刻蝕
【基金】：國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃(2015CB352001) 國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)(2011YQ14014704) 國(guó)家自然科學(xué)基金(61378060,61205156) 上海市科學(xué)儀器重點(diǎn)項(xiàng)目(14142200902)
【分類號(hào)】：TH74;O433
【正文快照】： 光譜儀能獲取物質(zhì)的光信息并分析檢測(cè)物質(zhì)中的元素,在科研、食藥和醫(yī)學(xué)檢測(cè)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。微型光譜儀由于體積小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、方便攜帶,受到人們的青睞。在光譜儀中有多種色散元件,比如傳統(tǒng)的衍射光1011001-1柵和棱鏡。目前大多數(shù)微型光譜儀仍利用光的干涉原理,用光柵將復(fù)雜

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

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本文編號(hào)：597177