基于柔性機(jī)構(gòu)的精密調(diào)平調(diào)心平臺(tái)設(shè)計(jì)與分析
本文關(guān)鍵詞:基于柔性機(jī)構(gòu)的精密調(diào)平調(diào)心平臺(tái)設(shè)計(jì)與分析
更多相關(guān)文章: 柔性鉸鏈 調(diào)平調(diào)心 精密測量
【摘要】:高精度調(diào)平調(diào)心工作臺(tái)是精密測量設(shè)備上最重要的附件之一。文中基于柔性鉸鏈實(shí)現(xiàn)了正交2維調(diào)平機(jī)構(gòu)的一體化設(shè)計(jì),將平行四邊形柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)進(jìn)行嵌套實(shí)現(xiàn)2維平動(dòng)調(diào)心功能。分析了角度調(diào)節(jié)的具體操作過程,計(jì)算了偏轉(zhuǎn)角度與驅(qū)動(dòng)進(jìn)給位移的關(guān)系,加工了調(diào)平調(diào)心平臺(tái)樣機(jī)。試驗(yàn)操作顯示該平臺(tái)具有結(jié)構(gòu)簡單、剛度大、無噪聲、調(diào)節(jié)柔和、成本低等優(yōu)點(diǎn)。
【作者單位】: 西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】: 柔性鉸鏈 調(diào)平調(diào)心 精密測量
【基金】:陜西省科學(xué)技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃資助項(xiàng)目(S2011GY1051) 陜西省自然科學(xué)基礎(chǔ)研究計(jì)劃資助項(xiàng)目(2013K07-19)
【分類號(hào)】:TH703
【正文快照】: 具有高精度的調(diào)平調(diào)心平臺(tái)在精密制造與測量、微電子、宇航、生物工程等領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用,特別是在精密、超精密測量領(lǐng)域,人們對其所能實(shí)現(xiàn)的精度要求越來越高,往往達(dá)到微米,甚至納米級別。目前精密調(diào)平調(diào)心平臺(tái)在圓度儀、圓柱度儀、齒輪測量機(jī)、精密三坐標(biāo)測量機(jī)等
【相似文獻(xiàn)】
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,本文編號(hào):584142
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