發(fā)布時(shí)間：2017-07-26 20:08

  本文關(guān)鍵詞：高精密定位平臺(tái)驅(qū)動(dòng)波紋管遲滯的建模與驗(yàn)證

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【摘要】：為了提高精密定位平臺(tái)的精度和行程,設(shè)計(jì)了一種新型的氣動(dòng)伺服定位平臺(tái)。以金屬波紋管為獨(dú)立執(zhí)行機(jī)構(gòu),采用有限元法設(shè)計(jì)了氣浮導(dǎo)軌。以氣浮導(dǎo)軌支撐,研究無摩擦條件下的較大行程的精密控制。對波紋管的機(jī)械特性進(jìn)行分析,結(jié)合實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)形成的遲滯初載曲線,進(jìn)行參數(shù)辨識(shí),確定基本遲滯算子的閾值和權(quán)值,建立了基于PI模型的系統(tǒng)遲滯模型,并對模型進(jìn)行了驗(yàn)證。結(jié)合建立的系統(tǒng)遲滯模型,采用變化速率為0.5 V/s和5 V/s的鋸齒波進(jìn)行實(shí)驗(yàn),結(jié)果表明:系統(tǒng)的遲滯模型輸出很好地逼近了系統(tǒng)輸出;開環(huán)情況下,實(shí)際逼近誤差慢速信號(hào)輸入逼近小于10%m,快速信號(hào)輸入逼近小于20%m,其性能上能夠滿足高精密定位平臺(tái)的精度要求。
【作者單位】： 青島理工大學(xué)自動(dòng)化工程學(xué)院;北京理工大學(xué)自動(dòng)化學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 高精密定位平臺(tái) 波紋管 遲滯特性 精度
【基金】：流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金項(xiàng)目(JZKF-201214)
【分類號(hào)】：TH703
【正文快照】： 0前言精密定位是精密器件加工設(shè)備中的關(guān)鍵技術(shù),在IC芯片制造、光學(xué)掃描檢測、大面板液晶顯示器制造等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。目前運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)多數(shù)采用電動(dòng)驅(qū)動(dòng),按照驅(qū)動(dòng)模式可以分為間接驅(qū)動(dòng)和直接驅(qū)動(dòng)。間接驅(qū)動(dòng)借助滾軸絲杠等傳動(dòng)機(jī)構(gòu)將電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為直線運(yùn)動(dòng);直接

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本文編號(hào)：578100