本文關(guān)鍵詞：梳齒分布結(jié)構(gòu)對靜電驅(qū)動二維微掃描鏡機(jī)械轉(zhuǎn)角的影響

  更多相關(guān)文章： MEMS 掃描鏡 非線性動力學(xué) 梳齒分布 大轉(zhuǎn)角

【摘要】：為增大靜電驅(qū)動二維微掃描鏡的機(jī)械轉(zhuǎn)角,基于非線性動力學(xué)理論研究了不同梳齒結(jié)構(gòu)對其振幅的影響,理論上得到發(fā)散型梳齒分布相較于平行型梳齒分布具有更大的機(jī)械轉(zhuǎn)角。此外,采用絕緣體上硅(SOI)加工工藝設(shè)計并制作了這兩種結(jié)構(gòu)的微掃描鏡,并對其相關(guān)特性進(jìn)行了測試。測試結(jié)果表明:在相同的驅(qū)動電壓下,發(fā)散型結(jié)構(gòu)始終都比平行型結(jié)構(gòu)具有更大的機(jī)械轉(zhuǎn)角,與仿真結(jié)果基本一致;當(dāng)加載驅(qū)動電壓為42 V的方波信號時,發(fā)散型結(jié)構(gòu)掃描鏡的可動框架和鏡面的最大機(jī)械轉(zhuǎn)角可以達(dá)到12.3°、13.49°,而平行型結(jié)構(gòu)掃描鏡的可動框架和鏡面的最大機(jī)械轉(zhuǎn)角則為10.25°、11.68°。
【作者單位】： 西北工業(yè)大學(xué)空天微納系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;西北工業(yè)大學(xué)陜西省微/納米系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;西北工業(yè)大學(xué)深圳研究院;
【關(guān)鍵詞】： MEMS 掃描鏡 非線性動力學(xué) 梳齒分布 大轉(zhuǎn)角
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51375399,51375400) 深圳市財政委員會2012年第四批市新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展專項(xiàng)資金基礎(chǔ)研究計劃項(xiàng)目(JCYJ20120614154203639) 西北工業(yè)大學(xué)基礎(chǔ)研究基金項(xiàng)目(JCY20130119) 航空科學(xué)基金項(xiàng)目(2013ZC53036)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 微掃描鏡作為一種重要的光學(xué)元件,可以使入射光束的傳播方向發(fā)生改變,尤其是二維掃描鏡,可以實(shí)現(xiàn)光束在二維區(qū)域的面掃描,可以廣泛的應(yīng)用于激光成像、印刷、數(shù)據(jù)存儲、條碼識別、光通信、顯示監(jiān)控和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域[1-8]。靜電驅(qū)動微掃描鏡具有結(jié)構(gòu)簡單、體積較小,且與IC工藝兼

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 李麗偉;朱榮;周兆英;任建興;;MEMS密閉腔內(nèi)微氣流的擠壓膜阻尼效應(yīng)研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2008年11期

2 李曉瑩;孫瑞康;燕斌;喬大勇;;一種垂直梳齒驅(qū)動V型梁微鏡設(shè)計(英文)[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2011年05期

【共引文獻(xiàn)】

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 高陽;基于MEMS技術(shù)的聲表面波微驅(qū)動器件[D];上海交通大學(xué);2010年

2 金才;MEMS執(zhí)行器多場耦合分析[D];沈陽理工大學(xué);2013年

【二級參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 高嶸;王小靜;張效翔;王敏;于茂華;謝明春;;計入空氣阻尼的MEMS微諧振器非線性動力學(xué)研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2006年05期

2 栗大超;吳文剛;袁勇;陳慶華;郝一龍;胡小唐;;基于復(fù)合靜電驅(qū)動結(jié)構(gòu)的硅微機(jī)械扭轉(zhuǎn)微鏡(英文)[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2006年05期

3 張弛;張高飛;尤政;;MOEMS微型二維掃描鏡的建模與仿真[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2008年02期

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 田文超,賈建援;MEMS微梁粘附“突陷”靜力分析[J];機(jī)械科學(xué)與技術(shù);2005年01期

2 趙曉峰,溫殿忠;MEMS研究與發(fā)展前景[J];黑龍江大學(xué)自然科學(xué)學(xué)報;2002年01期

3 段潤保,趙硯江,毛言理;微機(jī)械(MEMS)與微細(xì)加工技術(shù)[J];河北理工學(xué)院學(xué)報;2004年02期

4 霍鵬飛,馬炳和,苑偉政;一種基于多端口組件網(wǎng)絡(luò)的MEMS系統(tǒng)級建模方法[J];機(jī)械科學(xué)與技術(shù);2005年02期

5 明安杰;李鐵;周萍;王躍林;;大位移低電壓的靜電MEMS驅(qū)動器(英文)[J];半導(dǎo)體學(xué)報;2008年09期

6 蘇維嘉;張澎;;基于嵌入式實(shí)時操作系統(tǒng)的動態(tài)數(shù)顯傾角儀[J];工業(yè)控制計算機(jī);2009年07期

7 倪燁;張懷武;鐘智勇;;MEMS加速度計的發(fā)展趨勢研究[J];硅谷;2010年19期

8 凌堅,萬江文;一維MEMS微鏡靜電彈性耦合[J];微納電子技術(shù);2004年10期

9 林靜,黃元慶;MEMS光開關(guān)的靜電驅(qū)動技術(shù)[J];中國儀器儀表;2005年06期

10 唐立軍;李倩;張開銳;;一種新型MEMS傾角儀的設(shè)計及測試[J];測試技術(shù)學(xué)報;2009年03期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 李建飛;薛兵;張俊峰;朱小毅;王曉蕾;;應(yīng)用于MEMS加速度計的小型恒溫系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)[A];中國地震學(xué)會第14次學(xué)術(shù)大會專題[C];2012年

2 張文明;孟光;;MEMS旋轉(zhuǎn)機(jī)械微轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)的材料選用研究[A];第9屆全國轉(zhuǎn)子動力學(xué)學(xué)術(shù)討論會ROTDYN'2010論文集[C];2010年

3 許建軍;孔學(xué)東;李斌;師謙;;MEMS及微機(jī)械加速度計可靠性研究[A];第十一屆全國可靠性物理學(xué)術(shù)討論會論文集[C];2005年

4 初建朋;郭方敏;賴宗聲;;MEMS接觸式開關(guān)的計算機(jī)模擬[A];第一屆全國納米技術(shù)與應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文集[C];2000年

5 石雄;劉婭;李捷;;基于系統(tǒng)級封裝技術(shù)的車用壓力傳感器[A];2008中國儀器儀表與測控技術(shù)進(jìn)展大會論文集（Ⅲ）[C];2008年

6 白占元;徐皚冬;;基于MEMS的傾角測量儀設(shè)計[A];2007'儀表，自動化及先進(jìn)集成技術(shù)大會論文集（一）[C];2007年

7 陳興;崔大付;劉長春;李輝;耿照新;;基于MEMS技術(shù)的細(xì)胞分離芯片的研究[A];第三屆全國微全分析系統(tǒng)學(xué)術(shù)會議論文集[C];2005年

8 謝興軍;;MEMS微波開關(guān)的設(shè)計與仿真[A];中國工程物理研究院科技年報（2003）[C];2003年

9 鄧科;郭濤;蘇娟;郭等柱;劉璐;陳徐宗;汪中;;CPT微型原子鐘研究進(jìn)展[A];2009全國時間頻率學(xué)術(shù)會議論文集[C];2009年

10 呂樹海;羅蓉;楊擁軍;呂苗;;SDB技術(shù)在MEMS加速度計中的應(yīng)用[A];中國微米、納米技術(shù)第七屆學(xué)術(shù)會年會論文集（一）[C];2005年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 范玉;基于MEMS的全固態(tài)雙增益阿達(dá)瑪光譜儀關(guān)鍵技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2010年

2 孫麗波;微板多物理場耦合非線性動力學(xué)研究[D];燕山大學(xué);2011年

3 邱成軍;基于MEMS技術(shù)新型壓電微驅(qū)動器的研制[D];哈爾濱工程大學(xué);2005年

4 郝秀春;電熱驅(qū)動微夾鉗的拓?fù)湓O(shè)計及相關(guān)問題研究[D];大連理工大學(xué);2006年

5 蔣玉齊;高量程MEMS加速度計封裝研究[D];中國科學(xué)院研究生院（上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所）;2004年

6 趙江銘;橫向梳狀硅微靜電諧振器機(jī)械性能分析與實(shí)驗(yàn)研究[D];上海大學(xué);2006年

7 許曉慧;基于PZT厚膜的MEMS微變形鏡[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2008年

8 史玲娜;基于LED照明的MEMS光柵光調(diào)制器的光學(xué)投影系統(tǒng)分析與設(shè)計[D];重慶大學(xué);2009年

9 栗大超;硅微機(jī)械扭轉(zhuǎn)鏡光致動器及其動態(tài)測試技術(shù)的研究[D];天津大學(xué);2004年

10 杜小振;環(huán)境振動驅(qū)動微型壓電發(fā)電裝置的關(guān)鍵技術(shù)研究[D];大連理工大學(xué);2008年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 華晨輝;MEMS超聲分離器的二維簡正模式的研究及實(shí)驗(yàn)分析[D];電子科技大學(xué);2010年

2 牛凱;4×4MEMS光開關(guān)陣列的設(shè)計與實(shí)驗(yàn)研究[D];清華大學(xué);2004年

3 孫發(fā)威;扭臂式MEMS光開關(guān)的建模與優(yōu)化[D];西安電子科技大學(xué);2010年

4 夏雪松;1.55微米激光MEMS掃描外差干涉儀研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

5 李仁鋒;MEMS高g值加速度計設(shè)計技術(shù)研究[D];中國工程物理研究院北京研究生部;2003年

6 李艷梅;四梁雙層結(jié)構(gòu)壓阻式硅微加速度計的研究[D];長春理工大學(xué);2006年

7 陳廣文;基于MEMS的微機(jī)械射頻開關(guān)的研究和設(shè)計[D];廈門大學(xué);2002年

8 胡春光;利用相移顯微干涉術(shù)和頻閃成像技術(shù)研究MEMS離面運(yùn)動[D];天津大學(xué);2004年

9 湯忠斌;微電子機(jī)械系統(tǒng)材料力學(xué)性能測試方法的研究[D];西北工業(yè)大學(xué);2004年

10 常洪龍;基于“Top-Down”的MEMS集成設(shè)計方法及關(guān)鍵技術(shù)研究[D];西北工業(yè)大學(xué);2002年

，

本文編號：574684