本文關(guān)鍵詞：光學元件磨削加工亞表面損傷檢測研究

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【摘要】：基于氫氟酸刻蝕對光學元件亞表面裂紋影響的刻蝕模型,將化學刻蝕、逐層拋光技術(shù)和激光共聚焦掃描技術(shù)相結(jié)合,提出了一種磨削加工光學元件亞表面損傷的檢測方法。實驗證實該方法得到的亞表面損傷深度與公認的亞表面損傷預測模型的預測結(jié)果吻合性較好,是一種可靠的亞表面深度檢測方法。
【作者單位】： 廈門大學機電工程系;華僑大學機電及自動化學院;
【關(guān)鍵詞】： 磨削 亞表面損傷 蝕刻 拋光 檢測
【基金】：國家自然科學基金(51275433) 福建省自然科學基金(2012J05098)
【分類號】：TH74;TG580.6
【正文快照】： (Received 22 May 2014,accepted 15 August 2014)1引言隨著高功率固體激光系統(tǒng)能量的不斷提升和迅猛發(fā)展,其對于光學元件質(zhì)量要求越來越高。光學元件在磨削加工過程中會產(chǎn)生大量的亞表面損傷,這些損傷將直接降低光學元件的強度、長期穩(wěn)定性、成像質(zhì)量、鍍膜質(zhì)量和抗激光損傷

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1 田玉s，

本文編號：560921