本文關(guān)鍵詞：原子力顯微術(shù)研究進(jìn)展

  更多相關(guān)文章： 先進(jìn)原子力顯微術(shù) 功能化微懸臂 納米尺度表征與測量

【摘要】：原子力顯微術(shù)是微納米尺度實空間形貌成像與結(jié)構(gòu)表征的關(guān)鍵技術(shù)之一。近些年,原子力顯微術(shù)衍生發(fā)展出了一系列令人矚目的功能化探測模式和新技術(shù)。文章從以下兩個方面論述了原子力顯微術(shù)的前沿進(jìn)展:(1)原子力顯微術(shù)的功能化探測模式及其在微納米尺度物性研究與測量以及微納加工等領(lǐng)域的應(yīng)用;(2)原子力顯微術(shù)自身在更高精度、更高分辨率、更快速度、更多功能等方面的進(jìn)展及在基礎(chǔ)和應(yīng)用研究領(lǐng)域中的應(yīng)用。文章還展望了原子力顯微術(shù)的下一步發(fā)展方向和正在不斷擴展的研究領(lǐng)域。
【作者單位】： 國家納米科學(xué)中心中國科學(xué)院納米標(biāo)準(zhǔn)與檢測重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 先進(jìn)原子力顯微術(shù) 功能化微懸臂 納米尺度表征與測量
【基金】：國家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號:21173058/B030506)資助項目 中國科學(xué)院“引進(jìn)杰出技術(shù)人才”(技術(shù)百人計劃)項目,中國科學(xué)院“卓越青年科學(xué)家”項目,中國科學(xué)院科研裝備研制項目
【分類號】：TH742
【正文快照】： 1引言原子力顯微術(shù)(atomic force microscopy,AFM)是從20世紀(jì)80年代發(fā)展起來的一種表面探測技術(shù),其基本原理是利用帶針尖的微懸臂探測針尖與樣品間相互作用的大小和性質(zhì)會隨著針尖與樣品間距離的變化而變化,從而可以獲得樣品 的不同信息,實現(xiàn)檢測目的。AFM憑借其檢測對象廣泛

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本文編號：558959