本文關(guān)鍵詞：壓電陶瓷裝置微位移的光學測量與控制技術(shù)

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【摘要】：微位移裝置是指在外力或者電場、磁場等作用下,直接或間接由微結(jié)構(gòu)杠桿放大產(chǎn)生精密微量移動,實現(xiàn)精密定位的裝置,例如采用壓電陶瓷的逆壓電效應、由電壓控制產(chǎn)生微位移蠕動。以干涉儀中移相器為典型微位移裝置代表,總結(jié)多年來科研工作中對微位移裝置伸長量的測量與在線標定方法,實現(xiàn)了干涉儀中步長為λ/8(λ=632.8 nm)的準確移相;通過研究基于電容器件的位移反饋,實現(xiàn)了分辨率優(yōu)于10 nm的精密定位。
【作者單位】： 南京理工大學電子工程與光電技術(shù)學院;
【關(guān)鍵詞】： 微位移 精密光學測量 壓電陶瓷 反饋控制 移相器 干涉
【基金】：國家自然科學基金(61377015) 國家重大儀器專項基金(2013YQ150829)
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 0引言 采用電致伸縮或磁致伸縮原理,在外部電磁場作用下,產(chǎn)生微 米級、納米級位移定位,并在一定的負載下線性穩(wěn)定伸縮,由此構(gòu)成的微位移裝置,在細胞注射、光學精密調(diào)焦、光纖耦合、精密數(shù)控機床、大規(guī)模集成電路制造、精密光學測量等領(lǐng)域,均有著廣泛的需求與應用價值。 件[

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本文編號：556103