本文關鍵詞：原子力顯微鏡探針批量制備工藝分析

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【摘要】：為實現(xiàn)低成本原子力顯微鏡(AFM)探針的制備,開展了基于6英寸(1英寸=2.54 cm)絕緣襯底上的硅(SOI)的AFM探針制備方法的研究,實驗分析了采用KOH濕法腐蝕納米硅針尖的時間對針尖形貌的影響,給出了納米硅針尖的缺陷類型以及產(chǎn)生缺陷針尖的原因,同時針對深硅干法刻蝕過程中散熱不均的現(xiàn)象,提出采用導熱系數(shù)高的黏接材料來改善散熱問題。實驗結果表明,基于6英寸SOI制備的AFM探針懸臂梁厚度偏差為±0.5μm,成品率大于90%,對制備的自銳式AFM探針與商用AFM探針進行了測試對比,自制AFM探針的掃描質量達到了當前商用探針的水平,滿足形貌表征的需求。
【作者單位】： 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所國際實驗室;中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所納米器件與應用重點實驗室;中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學國家重點實驗室;山東師范大學物理與電子科學學院;
【關鍵詞】： 原子力顯微鏡(AFM) 探針 絕緣襯底上的硅(SOI) 自銳式 曲率半徑
【基金】：國家自然科學基金項目(61573346,61104226) 中國科學院青年促進會人才項目(2014278);中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學國家重點實驗室資助項目 江蘇省科技支撐計劃工業(yè)部分資助項目(BE2013056)
【分類號】：TH742
【正文快照】： 0引言原子力顯微鏡(AFM)是利用AFM探針觀察待測樣品表面微觀形貌的實驗測試儀器,該表征技術是近年來表面成像技術中重要的進展之一[1-3],AFM探針是AFM的核心部件,當AFM探針的納米針尖靠近樣品時,針尖頂端原子與待測樣品的表面原子間產(chǎn)生的作用力會引起AFM探針懸臂的彎曲,偏離

【參考文獻】

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本文編號：555857