本文關鍵詞：單鏡支撐結(jié)構(gòu)對鏡面面形影響的接觸有限元分析

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【摘要】：單鏡支撐技術是影響光刻機光刻精度的關鍵因素之一。為了分析某光刻物鏡單鏡支撐結(jié)構(gòu)對鏡面面形的影響,采用接觸有限元分析的方法對某光刻物鏡系統(tǒng)單鏡支撐結(jié)構(gòu)進行分析。由于單鏡還受到預緊力和夾緊結(jié)構(gòu)的影響,分析時建立預緊力大小不同,夾緊結(jié)構(gòu)剛度不同,支撐結(jié)構(gòu)剛度不同的有限元模型,計算鏡體的自重變形,并由此計算鏡面面形的峰谷值(PV)、均方根值(RMS)。分析結(jié)果表明,當支撐結(jié)構(gòu)特征尺寸D≥0.6 mm時,鏡面面形精度對支撐結(jié)構(gòu)特征尺寸D的穩(wěn)定性最好,這為以后不同口徑光刻機物鏡系統(tǒng)的單鏡支撐技術提供參考。
【作者單位】： 長春理工大學機電工程學院;
【關鍵詞】： 單鏡 支撐結(jié)構(gòu) 面形 精度
【基金】：吉林省科技發(fā)展計劃項目(20100519)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言隨著集成電路、半導體元器件、光電子器件、光學器件發(fā)展的需要,人們對光刻機的分辨率要求越來越高。光刻機分辨率的提高依賴于投影物鏡的面形精度。例如我們所熟知的193nm光刻機的投影物鏡對面形精度的要求達到了(1~2)nm均方根值(RMS),部分元件的要求更高。單鏡支撐系統(tǒng)

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本文編號：543885