本文關(guān)鍵詞：光學表面非均勻中頻誤差的評價與修正

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【摘要】：針對光學元件使用過程中中頻誤差將導致光學元件的激光破壞這一問題,提出一種中頻誤差突出頻率提取方法。采用基于統(tǒng)計學的多樣本數(shù)據(jù)處理,對于每一種采樣方向都可以得到數(shù)個較為突出的不合格頻率。利用這些頻率進行確定性加工后,在特定方向,空間頻率0.044 1mm-1,0.085 8mm-1,0.041 7mm-1所出現(xiàn)的不合格次數(shù)分別降至加工前的23.9%,18.3%,29.2%,而整體中頻誤差減少至50.1%。結(jié)果表明,此方法降低了由光學表面中頻誤差方向性與局部性引起的不確定性。
【作者單位】： 成都精密光學工程研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 光學加工 中頻誤差 小波變換 頻率提取
【基金】：國家科技重大專項課題(2013ZX04006011-101)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 引言中頻誤差指空間頻率在0.030 3mm-1~8.3mm-1頻段內(nèi)的波前誤差,表現(xiàn)為波紋誤差,在光學元件使用過程中,中頻誤差在經(jīng)過長的傳輸距離后,轉(zhuǎn)化為較大的強度調(diào)制,惡化系統(tǒng)輸出的光束質(zhì)量。以國家點火裝置(NIF)為例,中頻誤差將影響焦斑拖尾、近場調(diào)制與散射性能[1]。因此,抑制光學

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