發(fā)布時間：2017-07-08 11:08

  本文關鍵詞：大光柵刻劃機氣浮刀架導軌設計與分析

  更多相關文章： 光柵 衍射光柵 光柵刻劃機 氣浮導軌 雙頻激光干涉儀 刀架系統(tǒng)

【摘要】：嘗試在大型衍射光柵刻劃機中使用氣浮導軌承載金剛石刻劃刀具系統(tǒng)運行。氣浮導軌同時承擔刀具系統(tǒng)的承重與導向任務,由于使用氣體作為潤滑劑而接近零摩擦狀態(tài),可以避免觸點磨損及低速爬行現(xiàn)象。分析了氣浮導軌工作過程中產(chǎn)生的誤差及該誤差對刻劃刀具運動軌跡的影響,并使用雙頻激光干涉儀測量刻劃過程中刻劃刀具運動的直線度誤差。測量結果表明,金剛石刀具系統(tǒng)單向行程400 mm時,該誤差約為200 nm,小于使用石英導軌承載刀具系統(tǒng)時的誤差,同時在高頻振動方面有明顯改善�？讨埔欢�79 gr/mm,400 mm×500 mm的中階梯光柵,觀察其衍射光斑并使用照度計檢測得其不同位置雜散光強度為0.2‰~5‰,實驗結果表明使用氣浮導軌承載刻劃刀具可以滿足光柵刻劃精度要求。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所;中國科學院大學;
【關鍵詞】： 光柵 衍射光柵 光柵刻劃機 氣浮導軌 雙頻激光干涉儀 刀架系統(tǒng)
【基金】：國家重大科研裝備研制項目(ZBYZ2008-1)
【分類號】：TH744.1
【正文快照】： 1引言衍射光柵是一種具有周期性浮雕結構的特種分光元件,廣泛應用于各類光譜儀器之中[1-3]。衍射光柵的制作方法主要分為機械刻劃與全息曝光兩種。機械刻劃是由安裝有金剛石刻刀的刀架相對于光柵基底進行等速往復運動,在光柵基底表面擠壓出一系列等間距的直線刻槽[4],此種刻劃

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