本文關(guān)鍵詞：基于∑-△M的五階MFLR數(shù)字微加速度計(jì)閉環(huán)控制系統(tǒng)

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【摘要】：為了進(jìn)一步抑制加速度計(jì)信號帶寬范圍內(nèi)的噪聲,提出并設(shè)計(jì)了一種基于Σ-△M的五階多反饋諧振式(MFLR)微機(jī)械加速度計(jì)閉環(huán)控制系統(tǒng),該系統(tǒng)通過增加額外的內(nèi)部負(fù)反饋對量化噪聲進(jìn)行再一次整形。微機(jī)械加速度計(jì)結(jié)構(gòu)為一種全差分式結(jié)構(gòu),在結(jié)構(gòu)層厚度為60μm、基底層厚度為400μm的SOI硅片上,經(jīng)過光刻、濺射、深度反應(yīng)離子刻蝕等工藝步驟加工而成。整個(gè)閉環(huán)控制系統(tǒng)的Matlab/Simulink模型首先被建立,然后采用"單位圓分析法"進(jìn)行系統(tǒng)參數(shù)的設(shè)定,系統(tǒng)仿真顯示:當(dāng)輸入幅值1g_n、頻率128Hz的加速度信號時(shí),加速度計(jì)的噪聲為-136.2 dB,與傳統(tǒng)五階MF結(jié)構(gòu)的∑-△M閉環(huán)控制系統(tǒng)相比,在0~500 Hz信號帶寬范圍內(nèi)的噪聲降低了7.9dB。最后整個(gè)系統(tǒng)在四層PCB電路板上進(jìn)行了功能性驗(yàn)證和測試。
【作者單位】： 西北工業(yè)大學(xué)空天微納系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 微機(jī)械加速度計(jì) Sigma-Delta modulator(∑-△M) 閉環(huán)控制 高頻段噪聲
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61273052)
【分類號】：TH824.4;TP273
【正文快照】： 0弓丨言 閉環(huán)控制的優(yōu)點(diǎn),而且能夠克服“吸附現(xiàn)象”的發(fā)生[s],并微機(jī)械加速度計(jì)由于其體積小、重量輕、可批量化生產(chǎn) 直接輸出數(shù)字脈寬密度調(diào)制信號,便于后端做進(jìn)一步的數(shù)等優(yōu)點(diǎn),在航空、航天、汽車、消費(fèi)類電子等領(lǐng)域具有重要的 字信號處理。因此,該技術(shù)一直是國際上各個(gè)研究

【共引文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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