本文關(guān)鍵詞：柔性微透鏡陣列的制作及其光學(xué)性質(zhì)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：近年來，柔性光電系統(tǒng)由于其獨(dú)特的柔韌性和延展性，，在可折疊、能彎曲等圖像顯示，便攜式太陽能電池等方面有著廣闊的應(yīng)用前景。因此有必要針對柔性光電系統(tǒng)中的重要微光學(xué)元件之一的柔性微透鏡陣列進(jìn)行相關(guān)研究。本文基于DMD(Digital Micromirror Device)數(shù)字光刻系統(tǒng)，研究如何利用數(shù)字光刻系統(tǒng)制作柔性微透鏡陣列的方法，并對制作出的柔性微透鏡陣列進(jìn)行了測試與分析。主要工作如下： 首先，對微透鏡陣列的發(fā)展和現(xiàn)狀、微透鏡陣列的制作方法、柔性微透鏡陣列的發(fā)展前景進(jìn)行了論述，詳細(xì)介紹了幾種微透鏡陣列的制作方法例如直寫技術(shù)、二元套刻技術(shù)、灰度掩模技術(shù)以及數(shù)字光刻技術(shù)，簡要介紹了柔性微透鏡陣列的應(yīng)用以及優(yōu)點(diǎn)，并對本文的工作進(jìn)行了簡要的介紹。 其次，介紹了基于計(jì)算機(jī)控制無掩模的數(shù)字化光刻技術(shù)設(shè)計(jì)微透鏡陣列的方法。在了解標(biāo)量衍射理論設(shè)計(jì)折射型微透鏡的基本理論基礎(chǔ)上，根據(jù)光刻膠種類以及參數(shù)，并結(jié)合實(shí)驗(yàn)室的設(shè)備儀器的條件，設(shè)計(jì)柔性微透鏡陣列的蜂窩狀排列方式，進(jìn)一步減小了陣列的占空比，利用MATLAB以及CorelDRAW繪圖軟件繪制出柔性微透鏡陣列的數(shù)字掩模。 然后，本文詳細(xì)給出了基于數(shù)字掩模光刻系統(tǒng)制作柔性微透鏡陣列的方法，詳細(xì)剖析了DMD數(shù)字光刻系統(tǒng)各部分的工作原理以及輪廓儀的工作原理，詳細(xì)給出試驗(yàn)中用到的儀器用品的參數(shù)與實(shí)驗(yàn)步驟，給出實(shí)驗(yàn)結(jié)果并對實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行了誤差分析。 最后，對柔性微透鏡陣列的折射率進(jìn)行了測試以及部分光學(xué)性質(zhì)進(jìn)行了研究，對微透鏡陣列的焦距進(jìn)行了計(jì)算。對制作出的柔性微透鏡陣列進(jìn)行了光場測試，由于柔性微透鏡陣列在應(yīng)用時在外力作用下會有變形，因此本文也對柔性微透鏡的形變作了初步分析。
【關(guān)鍵詞】：PDMS 柔性微透鏡陣列 數(shù)字光刻 DMD
【學(xué)位授予單位】：南昌航空大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2014
【分類號】：TH74
【目錄】：

• 摘要5-6
• Abstract6-10
• 第1章 緒論10-18
• 1.1 微透鏡陣列的發(fā)展歷史及現(xiàn)狀10-11
• 1.2 微透鏡陣列的制作方法11-14
• 1.2.1 直寫技術(shù)11-12
• 1.2.2 二元套刻技術(shù)12-13
• 1.2.3 灰度掩模技術(shù)13
• 1.2.4 數(shù)字無掩模光刻技術(shù)13-14
• 1.3 柔性微透鏡陣列14-17
• 1.4 本論文的工作內(nèi)容安排17-18
• 1.4.1 主要研究工作17
• 1.4.2 本文內(nèi)容安排17-18
• 第2章 微透鏡陣列的設(shè)計(jì)18-30
• 2.1 衍射微透鏡的設(shè)計(jì)18-25
• 2.2 折射型微透鏡的設(shè)計(jì)25-27
• 2.3 柔性微透鏡陣列的設(shè)計(jì)27-28
• 2.4 本章小結(jié)28-30
• 第3章 柔性微透鏡陣列的制作30-58
• 3.1 光刻系統(tǒng)30-39
• 3.1.1 數(shù)字光刻系統(tǒng)原理30-34
• 3.1.2 DMD數(shù)字光刻系統(tǒng)組成部分34-36
• 3.1.3 實(shí)驗(yàn)用品36-39
• 3.2 實(shí)驗(yàn)參數(shù)步驟及實(shí)驗(yàn)硬件與軟件39-49
• 3.2.1 輪廓儀的原理及應(yīng)用39-43
• 3.2.2 實(shí)驗(yàn)工藝步驟43-46
• 3.2.3 實(shí)驗(yàn)軟件部分46-48
• 3.2.4 本試驗(yàn)參數(shù)48-49
• 3.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與誤差分析49-57
• 3.3.1 本實(shí)驗(yàn)結(jié)果與測試49-53
• 3.3.2 誤差分析53-57
• 3.4 本章小結(jié)57-58
• 第4章 柔性微透鏡陣列的形變及光場分析58-66
• 4.1 對柔性微透鏡陣列的折射率的測試58-61
• 4.2 微透鏡陣列的焦距計(jì)算以及光場分布測試61-62
• 4.3 柔性微透鏡陣列的形變62-65
• 4.4 本章小結(jié)65-66
• 第5章 結(jié)論與展望66-69
• 5.1 結(jié)論66-68
• 5.2 展望68-69
• 參考文獻(xiàn)69-72
• 碩士期間發(fā)表的論文72-73
• 致謝73-74
• 附錄74-75

【參考文獻(xiàn)】

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中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

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  本文關(guān)鍵詞：柔性微透鏡陣列的制作及其光學(xué)性質(zhì)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號：435054