大面積高精度光柵刻劃機結構復雜,零部件的誤差分配要求極其嚴格,其加工精度要達到納米級別,因此任何外部環(huán)境擾動帶來的影響都可能影響光柵刻劃機定位精度和加工精度,必須采取有效的隔振方案減小外部環(huán)境振動對光柵刻劃機定位精度和加工精度的影響。本文通過調研光柵刻劃機工作環(huán)境,引入負剛度原理降低光柵刻劃機隔振平臺的固有頻率,采用復合隔振方法對對光柵刻劃機隨機振動進行了分析。主要研究內容如下:(1)調研光柵刻劃機工作環(huán)境并分析影響其精度的環(huán)境振動因素及其來源和頻率范圍;根據(jù)光柵刻劃機定位誤差隨刻線數(shù)目變化確定影響光柵刻劃機定位誤差的主要因素;分析了人行激勵影響和環(huán)境振動傳遞路徑。(2)基于點磁荷模型和虛功原理建立矩形永磁體的剛度位移模型,闡明了磁鐵間距、磁鐵形狀對磁引力負剛度非線性度的影響,通過優(yōu)化降低了磁力負剛度結構非線性度;磁力負剛度結構與空氣彈簧進行并聯(lián)將光柵刻劃機隔振平臺的固有頻率降低到1Hz以下。(3)建立光柵刻劃機隔振平臺六自由度動力學模型,通過解耦的方法將隔振平臺的動力學模型轉化為六個單輸入單輸出模型;在PID控制基礎上,針對PID無法調節(jié)參數(shù)的問題引入模糊神經網絡拓撲結構,構建模糊神...

【文章頁數(shù)】：78 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖2.1單自由度質量-彈簧系統(tǒng)

精密測量、精密加工和航空航天技術等的發(fā)展，要求更加嚴格實驗環(huán)境、抗振性、動態(tài)穩(wěn)定性及超微細測試加工精度等預知精密設備的工作環(huán)境不盡相同，很難設計一種隔振結構滿足所此需要對不同精密設備工作環(huán)境進行分析，找出其工作環(huán)境引面積高精度光柵刻劃機具有十分復雜的結構，各個零部件的誤格，同時要....

圖2.2光柵刻劃機定位誤差隨刻線數(shù)的變化情況

動問題的研究目前分別集中在兩個方面：頻域研究者集中在頻域進行研究。然而對于光柵刻角度出發(fā)，因為刻劃機振動評價標準是基于隔振度。王海、周叮[47]將人體表示為均勻分布的剛度方法對簡支梁的振動進行了數(shù)值仿真分析，最終結果對比分析。同濟大學的陳雋[48]等人對單足落讓實驗者以不同的行走....

圖2.3人體動力學模型

為1.6-2.4Hz�，F(xiàn)有研究中人行激勵的加載方法可以分為傅方法、單步落足荷載模型加載方法、雙足荷載模型加載方研究者們應用較多的一種方法，其考慮的是成人正常走動負載的疊加，但是其步行力的第k階諧波無法確定；單步人正常走動過程中單只腳作用于地面的力，該方法能夠模；雙足模型將人腿....

圖2.4單足落步曲線

圖2.5行走時程曲線Fig.2.5Timehistorycurveunderwalking單人行走過程中人行激勵的加載進行統(tǒng)一公式表達，但實式中的表達復雜，工作人員在下班過程中往往是幾個人一情況較多，因此對人行激勵的計算無法達到精確值，但為實際取值應選擇對振動影響....

本文編號：3981185