原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope, AFM)在輕敲模式下工作時,隨著探針針尖與樣品距離的逐漸減小,空氣壓膜阻尼的作用隨之增大。為研究壓膜阻尼對原子力顯微鏡振動系統(tǒng)的影響,分別使用無針尖探針和微球針尖探針進(jìn)行掃頻實驗,并基于振動理論將該過程簡化,得到了兩種不同的振動模型的系統(tǒng)剛度。在考慮壓膜阻尼作用影響后,將微球針尖振動系統(tǒng)模型進(jìn)一步簡化為一維振子模型,并對壓膜阻尼的影響進(jìn)行討論。實驗表明空氣壓膜阻尼模型對于探針樣品在微尺度下的作用過程是準(zhǔn)確合理的。該結(jié)果對原子力顯微鏡輕敲模式研究具有重要意義。

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【文章目錄】：
1 微懸臂梁的振動模型
    1.1 無針尖微懸臂梁振動模型
    1.2 帶微球針尖微懸臂梁振動模型
2 壓膜阻尼對微懸臂梁振動系統(tǒng)的影響
3 壓膜阻尼對品質(zhì)因數(shù)的影響
4 結(jié) 論



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