介紹了自主研發(fā)的四極質(zhì)譜儀原理、設(shè)計和相關(guān)測試結(jié)果.四極質(zhì)譜儀主要由離子源、四極濾質(zhì)器、離子檢測機構(gòu)、控制電源和信號處理軟件構(gòu)成.離子源產(chǎn)生的氣相離子經(jīng)引出和加速后射入四極濾質(zhì)器中,四極濾質(zhì)器上相疊加的直流和交流電壓使得相對應(yīng)質(zhì)荷比的離子穿過后被離子檢測機構(gòu)檢測,從而獲得氣體的成分和分壓.測試結(jié)果顯示,該四極質(zhì)譜儀的質(zhì)量測量范圍可達(dá)65amu,基本性能良好.

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【部分圖文】：

圖1EI源示意圖

圖2四極濾質(zhì)器構(gòu)造示意圖

圖4四極質(zhì)譜儀模擬圖

，設(shè)計出四極質(zhì)譜儀的初始模型，然后運用仿真軟件對四極質(zhì)譜儀進(jìn)行仿真模擬，如果模擬結(jié)果不理想，再修正模型，隨后再進(jìn)行仿真，數(shù)次反復(fù)，直至得到滿意的模擬結(jié)果．離子能否成功飛出四極場到達(dá)離子檢測機構(gòu)，是設(shè)計四極質(zhì)譜儀的核心問題．完美的四極場是由雙曲面形電極得到的，然而在實際加工中雙曲面....

圖5四極質(zhì)譜儀的主體構(gòu)造圖

模擬的效果圖可知，離子的運動軌跡類似于馬鞍形，屬于螺旋式前進(jìn)，時刻在向各桿運動，且只有在頂點處處于不平衡狀態(tài)后反向飛向另一極桿．以周期變化的方式在x和y方向運動直至穿過四極場．圖4四極質(zhì)譜儀模擬圖通過觀察不同四極桿尺寸參數(shù)時，100個粒子中最終可以飛出四極場的粒子數(shù)目，得到相應(yīng)的....

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