本文結(jié)合中國科協(xié)“青年人才托舉工程”項目《寄生原理壓電驅(qū)動器回退運動產(chǎn)生機(jī)理與抑制方法研究》(項目編號:2017QNRC001)展開研究。隨著微電子工程、先進(jìn)精密加工制造、納米技術(shù)、光學(xué)精密工程及生物醫(yī)學(xué)工程等現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展,對操作對象的加工和測量不再局限于宏觀尺度,還需對其進(jìn)行微納尺度的操作。多尺度的操作對象使各領(lǐng)域研究人員對大行程、納米級的測量操作系統(tǒng)需求急劇擴(kuò)大。基于粘滑運動原理的壓電驅(qū)動器能夠同時滿足上述要求,受到了許多國內(nèi)外學(xué)者的關(guān)注。通過綜合分析國內(nèi)外文獻(xiàn)發(fā)現(xiàn),現(xiàn)有的粘滑型壓電驅(qū)動器雖然能夠滿足高精度定位和大行程運動的要求,但較低的運動速度限制了粘滑型壓電驅(qū)動器性能的提高。分析發(fā)現(xiàn)回退是限制驅(qū)動器速度提升的一個重要方面,針對現(xiàn)有粘滑型壓電驅(qū)動器存在回退的現(xiàn)象,本文做了如下工作:首先,本文提出了一種變摩擦力式等腰梯形壓電粘滑驅(qū)動器,采用粘貼有壓電陶瓷片的等腰梯形定子驅(qū)動滑塊移動,通過增大推進(jìn)滑塊前進(jìn)的“粘”階段的靜摩擦力,減少使滑塊回退的“滑”階段的動摩擦力來抑制回退,提高驅(qū)動器的輸出速度。詳細(xì)闡述了所提出的等腰梯形壓電粘滑驅(qū)動器的結(jié)構(gòu)和運動原理,并對等腰梯形定子進(jìn)行...

【文章頁數(shù)】：83 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖1.1各領(lǐng)域?qū)︱?qū)動器性能要求在各功能材料驅(qū)動器中，壓電驅(qū)動器是以逆壓電效應(yīng)作為動力源的精密驅(qū)動器[4]

第1章緒論研究背景及意義著微電子工程、先進(jìn)精密加工制造、納米技術(shù)、光學(xué)精密工程及生現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展，對操作對象的加工和測量不再局限于宏其進(jìn)行微納尺度的操作[1-3]。多尺度的操作對象使各領(lǐng)域研究人員米級測量、操作系統(tǒng)的需求急劇擴(kuò)大，圖1.1列出了各領(lǐng)域?qū)︱?qū)動各功能材料....

圖1.2莫納什大學(xué)基于三自由

如圖1.2所示，采用三個壓電疊堆驅(qū)動柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的主動連桿實現(xiàn)高精度運動。2017年，莫納什大學(xué)機(jī)器人與機(jī)電一體化研究實驗室的LeonClark和墨爾本皇家理工大學(xué)的YongminZhong等人提出了一種僅用一個壓電疊堆驅(qū)動的緊湊型柔性精密旋轉(zhuǎn)平臺[27]，該平臺....

圖1.3LeonClark等人提出的

1各類壓電驅(qū)動器簡述直動式壓電驅(qū)動器多采用壓電元件（壓電疊堆、壓電晶片）直接驅(qū)動輸出機(jī)一般采用柔性鉸鏈位移放大機(jī)構(gòu)將壓電元件的位移進(jìn)行放大，從而實現(xiàn)幾百以內(nèi)的運動范圍。2010年，莫納什大學(xué)機(jī)械與航天工程系機(jī)器人與機(jī)電一體化研究實驗室的ian和B.Shirinzadeh....

圖1.4臺灣成功大學(xué)Jer-WeiLee研制

第1章緒論功大學(xué)機(jī)械工程系的Jer-WeiLee和Yu-ChingLi等人研制了一種新型串聯(lián)動柔性工作臺[28]，如圖1.4所示，該柔性工作臺可以獲得高達(dá)100Hz的寬和50nm的穩(wěn)態(tài)分辨率，已被用于自動光學(xué)檢測系統(tǒng)中。2017年，吉林大學(xué)李建平等提出了....

本文編號：3954943