白光干涉測量是采用具有一定光譜寬度的白光代替單色光作為干涉光源進行測量的特殊干涉測量技術(shù)。根據(jù)白光干涉信號的相干長度短、相干峰非常明顯的特性,采用了垂直掃描干涉測量的方式獲取干涉信號。相干峰尋址法是在垂直掃描測量的基礎(chǔ)上提出的,具有較高的計算精度和較大的適用性。本文將相干峰尋址法的11種算法分為直接求解法、包絡(luò)曲線擬合法和加權(quán)平均法三類進行闡述,并通過仿真每種算法分析各種算法的優(yōu)缺點以及適用性和局限性。

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【部分圖文】：

圖1邁克爾遜白光干涉系統(tǒng)

白光干涉測量解決了單色激光干涉測量的量程較小,精度不足的問題,在干涉定位和非接觸式測量方面有廣泛的應(yīng)用[1]。白光干涉多采用垂直掃描法進行測量,如圖1所示。光源出射光準(zhǔn)直后被分光鏡(BS)分束,分別到達測試面和標(biāo)準(zhǔn)面后得到表面信息,反射光束再被BS合束后到探測器,采用壓電陶瓷(P....

圖2模擬白光干涉信號

相干峰尋址法根據(jù)白光信號相干長度短、相干峰明顯的特性提出的:以高度不同的兩點為例,掃描測量的過程中兩點依次出現(xiàn)相干峰,以相干峰峰值點的位置為參照,兩個相干峰峰值點在Z軸上的差值就是兩點的高度差,如圖3所示。實現(xiàn)相干峰尋址法的具體算法很多,不同的算法具有不同的相干峰定位精度和不同的....

圖3相干峰尋址法

圖2模擬白光干涉信號2白光掃描干涉信號算法

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