依據(jù)穆勒橢偏測(cè)量方法中偏振光的傳輸方式,提出了一種橢偏系統(tǒng)中光學(xué)元件參數(shù)的定標(biāo)方法。通過(guò)建立出射光強(qiáng)關(guān)于起偏器和檢偏器透光軸方位角、旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器方位角和相位延遲的非線性最小二乘模型,用列文伯格-馬夸爾特(Levenberg-Marquardt,LM)算法對(duì)初始參數(shù)進(jìn)行迭代。求解出光學(xué)元件參數(shù)的精確值,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)元件的定標(biāo)。通過(guò)仿真實(shí)驗(yàn),利用已知穆勒(Mueller)矩陣且標(biāo)定值為(24.90±0.30) nm的SiO2/Si標(biāo)準(zhǔn)樣片,基于LM算法迭代計(jì)算光強(qiáng)值的殘差平方和。實(shí)驗(yàn)可得當(dāng)?shù)螖?shù)為50次時(shí),殘差平方和收斂到最小值0.24;與傳統(tǒng)多點(diǎn)標(biāo)定法進(jìn)行對(duì)比試驗(yàn),驗(yàn)證了基于LM算法求解光學(xué)參數(shù)的可行性;用標(biāo)定值為(91.21±0.36) nm的SiO2/Si標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)行驗(yàn)證,得到膜厚的計(jì)算值為91.53 nm,相對(duì)誤差為0.35%。結(jié)果表明:在穆勒橢偏系統(tǒng)參數(shù)標(biāo)定中,LM算法具有收斂速度快,計(jì)算精度高等優(yōu)點(diǎn)。

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本文編號(hào)：3900503